AIS主動隔振系統(tǒng)的應用場景

Active Isolation System-AIS主動隔振系統(tǒng)

系統(tǒng)概述

主動隔振系統(tǒng)（AIS）由控制箱PLC, 氣路總成Maintenance unit, 數(shù)據(jù)線CAN-Bus, 控制器16 bit-Controllers（SPC-LC), 高速電磁閥High Speed electro-pneumatic servo valves和空簧BiAir air springs and/or HAB^TM horizontal air springs所組成。

為了適用于不同的情況（承載、布局要求）,每套主動隔振系統(tǒng)可以選用不同型號的空簧和電磁閥進行組合。每組空簧都通過一個16位控制器（SPC-LC)和一個高速電磁閥進行單獨控制。每套主動隔振系統(tǒng)（AIS）由較少3組（三自由度）較多6組空簧六自由度）組成。所有控制器（SPC-LC)通過線（CAN-BUS）與控制箱（PLC）相連。

每個控制器（SPC-LC)都直接安裝在空簧上并且直接控制空簧的狀態(tài)?？刂破?/span>(SPC-LC)內(nèi)含有：一個16位的微處理芯片，一個位移傳感器（分辨率0.2微米），一個加速度傳感器（分辨率8μg），一個氣壓傳感器（分辨率0.2mbar）。上述所有傳感器的信號采樣頻率為4千赫茲。其中16位的微處理芯片可通過內(nèi)置的特殊算法對高速電磁閥發(fā)出相應的控制指令從而調(diào)整相連的空簧的工作狀態(tài)，使得整個主動隔振系統(tǒng)在不需要前置反饋信號的情況下達到，實時的隔振效果?？刂葡洌?/span>PLC)可以通過端口（RS232)或以太網(wǎng)接口和電腦（PC）連接進行控制，調(diào)試和故障診斷等工作。

控制箱（PLC)可以通過端口（RS232)和電腦（PC）連接進行控制，調(diào)試和故障診斷等工作。每個控制器（SPC-LC)都直接安裝在空簧上并且直接控制空簧的狀態(tài)。

控制器(SPC-LC)內(nèi)含有：一個16位的微處理芯片，一個位移傳感器（分辨率0.2微米），一個加速度傳感器（分辨率8μg），一個氣壓傳感器（分辨率0.2mbar）。

系統(tǒng)特性

1、主動隔振系統(tǒng)（AIS）為電氣式主動隔振系統(tǒng)，能隔離較多至6個自由度方向的振動。

2、型主動隔振系統(tǒng)可以較大程度的抑制共振現(xiàn)象。

3、在水平和垂直方向上均具有優(yōu)異的位移精度控制。

4、即使在所承載設備上出現(xiàn)較大的載荷變化也不會有大幅度的位移變化且能在較短的時間內(nèi)恢復原有的水平精度。

5、具有強大的實時控制功能。

6、在控制箱（PLC)的管理和監(jiān)控下每個自由度都有一個控制器和高速電磁閥進行直接控制。

7、每個控制器（SPC-LC)都內(nèi)含一個微處理器和三個傳感器（位移傳感器，加速度傳感器，氣壓傳感器）。

8、通過智能軟件WinSNI或者WebVisufor 用戶可以方便快捷的對整個系統(tǒng)進行優(yōu)化調(diào)整和監(jiān)控診斷。

9、通過數(shù)字I/O接口也可實現(xiàn)兩種工作模式的切換：掃描模式（應用在對隔振要求較高的設備或儀器）；承載模式（應用在經(jīng)常有載荷變化的設備或儀器）。

10、*設備提供前反饋信號。

應用領域主動隔振系統(tǒng)主要應用在高精度測量檢測設備上或存在高動態(tài)力影響下的精密測量測試設備，例如：圖形處理設備，激光設備，高精度電子顯微鏡或具有在線檢測功能的半導體生產(chǎn)設備。當傳統(tǒng)空簧和機械式水平控制閥不能滿足設備的隔振效率或反應時間等較高要求時，主動隔振系統(tǒng)則成為可以選擇的方案。