MEMS傳感器篇

時間：2020-08-25作者：深圳揚(yáng)德勝科技有限公司瀏覽：47

傳感器發(fā)展到今天，小型化、智能化、集成化，已經(jīng)是升級換代的必由之路。今天，我們來為大家介紹一下傳感器家族的小型產(chǎn)品——MEMS傳感器。

MEMS的全稱是微型電子機(jī)械系統(tǒng)（Micro-ElectroMechanical System），微機(jī)電系統(tǒng)是指可批量制作的，將微型機(jī)構(gòu)、微型傳感器、微型執(zhí)行器以及信號處理和控制電路、直至接口、通信和電源等集成于一塊或多塊芯片上的微型器件或系統(tǒng)。而MEMS傳感器就是采用微電子和微機(jī)械加工技術(shù)制造出來的新型傳感器，MEMS是用傳統(tǒng)的半導(dǎo)體工藝和材料，以半導(dǎo)體制造技術(shù)為基礎(chǔ)發(fā)展起來的一種**的制造技術(shù)，學(xué)科交叉現(xiàn)象較其明顯，主要涉及微加工技術(shù)，機(jī)械學(xué)/固體聲波理論，熱流理論，電子學(xué)、材料、物理學(xué)、化學(xué)、生物學(xué)、醫(yī)學(xué)等等。經(jīng)過四十多年的發(fā)展，已成為世界矚目的重大科技領(lǐng)域之一，用MEMS工藝制造傳感器、執(zhí)行器或者微結(jié)構(gòu)， 具有微型化、集成化、智能化、成本低、效能高、可大批量生產(chǎn)等特點，產(chǎn)能高，良品率高。MEMS技術(shù)使數(shù)以萬計的MEMS芯片（有些工藝也會把集成電路芯片放在同一步驟加工）出現(xiàn)在了每一片wafer上面，這種批量生產(chǎn)的過程目前已經(jīng)全自動化控制，隔離了人為因素，確保了每一個MEMS芯片之間的工藝誤差可以得到嚴(yán)格的控制，從而提高了良品率。切片、封裝之后，就成為了一個個的MEMS芯片。從外觀上來看，大部分的MEMS芯片和集成電路芯片是差不多的，微米量級的特征尺寸使MEMS傳感器可以完成某些傳統(tǒng)機(jī)械傳感器所不能實現(xiàn)的功能。是微型傳感器的主力軍，正在逐漸取代傳統(tǒng)機(jī)械傳感器，普遍應(yīng)用于消費電子產(chǎn)品、汽車工業(yè)、航空航天、機(jī)械、化工及醫(yī)藥等各領(lǐng)域。常見產(chǎn)品有壓力傳感器，加速度計，陀螺，靜電致動光投影顯示器，DNA擴(kuò)增微系統(tǒng)，催化傳感器。

?MEMS傳感器的分類
MEMS傳感器不僅能夠感知被測參數(shù)，將其轉(zhuǎn)換成方便度量的信號；而且能對所得到的信號進(jìn)行分析、處理和識別、判斷，因此形象地被稱為智能傳感器。?
MEMS傳感器的種類繁多，也有很多分類的方法。下面是按照工作原理分類：

每一種MEMS傳感器又有很多種細(xì)分方法。如加速度計，按檢測質(zhì)量的運(yùn)動方式劃分，有角振動式和線振動式加速度計等，常見的MEMS傳感器有壓力傳感器、加速度傳感器、微機(jī)械陀螺儀、慣性傳感器、MEMS硅麥克風(fēng)等等;MEMS傳感器的品種多到可以以萬為單位，且不同MEMS之間參量較多，沒有完全標(biāo)準(zhǔn)的工藝，MEMS傳感器作為**競爭戰(zhàn)略的重要標(biāo)志性產(chǎn)業(yè)，以其技術(shù)含量高、市場前景廣闊等特點備受**的關(guān)注。近十年來，中國MEMS傳感器產(chǎn)業(yè)生態(tài)系統(tǒng)也正逐步完善，從研發(fā)、設(shè)計、代工、封測到應(yīng)用，完整產(chǎn)業(yè)鏈已基本形成，國家對MEMS傳感器行業(yè)也給予了**的政策支持。我國MEMS產(chǎn)業(yè)發(fā)展面臨了重大的機(jī)遇，特別是移動互聯(lián)網(wǎng)和物聯(lián)網(wǎng)的快速發(fā)展，將對MEMS產(chǎn)業(yè)產(chǎn)生深遠(yuǎn)的影響，并將催生大量新的產(chǎn)品、新的應(yīng)用，帶動MEMS產(chǎn)品在日常生活及工業(yè)生產(chǎn)中的普及化，希望看了這篇文章后，對大家能有幫助，更多有關(guān)于傳感器知識，請大家關(guān)注深圳揚(yáng)德勝科技有限公司，更多較全的傳感器知識等著你！


深圳揚(yáng)德勝科技有限公司專注于深圳壓力傳感器,霍爾傳感器,磁傳感器等

• 詞條

  詞條說明

• 一文了解限位開關(guān)

  限位開關(guān)就是用以限定機(jī)械設(shè)備的運(yùn)動極限位置的電氣開關(guān)。限位開關(guān)是一種常用的小電流主令電器，限位開關(guān)（行程開關(guān)）是用于控制機(jī)械設(shè)備的行程和限位保護(hù)一種機(jī)械式開關(guān)，機(jī)械觸發(fā)部件和限位開關(guān)執(zhí)行部件會產(chǎn)生機(jī)械接觸，具體的是導(dǎo)通還是斷開要取決于和行程開關(guān)組合使用的其他電器元件決定，并不是一成不變。總體來說就是設(shè)計電路時根據(jù)所用電器元件必須達(dá)到A通B斷，B通A斷就行了。 1、限位開關(guān)，指為保護(hù)內(nèi)置微動開關(guān)免受

• 扭矩傳感器有什么特點

  一說到扭矩傳感器，可能很多人一下子覺得頭腦空白，光是提及這個扭矩傳感器這個代名詞，我也覺得很空洞，對它沒任何概念。那我再給大家多一點提示吧，扭矩傳感器一般會應(yīng)用與飛機(jī)、汽車、水泵等的功率的檢測中。這樣進(jìn)一步的解釋，是否加深了您對扭矩傳感器的印象了呢?不管有沒有，接下來就讓我為大家詳細(xì)介紹介紹它吧。 扭矩傳感器，(又稱力矩傳感器、扭力傳感器、轉(zhuǎn)矩傳感器、扭矩儀)分為動態(tài)和靜態(tài)兩大類，其中動態(tài)扭矩傳感

• 濕度傳感器分哪幾種呢？

  濕度是表明環(huán)境中含水量的一個指標(biāo)，在生活中，我們所說的濕度，常常是指空氣濕度。而濕度傳感器測量的類型非常廣泛，根據(jù)測量的指標(biāo)進(jìn)行區(qū)分，濕度傳感器可以分為相對濕度、**濕度與露點這三種常見的類型，在日常生活中的濕度測量，通常是“相對濕度”的測量，用%RH表示，比較常見的應(yīng)用有空調(diào)、冰箱、嬰兒保溫箱等，它們會用到濕度傳感器進(jìn)行濕度的實時檢測，例如恒溫箱是一種能維持箱內(nèi)溫濕度在設(shè)定界限范圍內(nèi)的貯存設(shè)備

• 如何挑選溫濕度傳感器

  溫濕度傳感器是指能將溫度量和濕度量轉(zhuǎn)換成容易被測量處理的電信號的設(shè)備或裝置。 市場上的溫濕度傳感器一般是測量溫度量和相對濕度量。并且，溫濕度傳感器只是傳感器其中的一種而已，只是把空氣中的溫濕度通過一定檢測裝置，測量到溫濕度后，按一定的規(guī)律變換成電信號或其他所需形式的信息輸出，用以滿足用戶需求。 溫度傳感器是指能感受溫度并轉(zhuǎn)換成可用輸出信號的傳感器。溫度傳感器是溫度測量儀表的**部分，品種繁多。按