晶圓片測試chipwafer采購

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上式可有下表表示：即上式的項為步距角理論值，(θm-θm-1)=θs。*二項為靜止角度（位置）誤差的相鄰誤差，變成步距角誤差。步距角誤差?。?）或（-）值，（+）或（-）的值與步距角之比的百分數(shù)（％）稱為步距角精度。（表1）的步距角精度SA用下式描述：滯環(huán)誤差：轉(zhuǎn)子由任意點正轉(zhuǎn)1圈后，再反向旋轉(zhuǎn)一圈返回原點，各測量位置的偏差角中取值，稱為滯環(huán)誤差。上“誤差的表示與位置精度圖”中的H即為滯環(huán)誤差。
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