HVA 真空閥門(mén) 11000 用在 OLED 鍍膜機(jī)

時(shí)間：2023-05-19作者：伯東企業(yè)（上海）有限公司瀏覽：64

國(guó)內(nèi)某 OLED 鍍膜機(jī)廠家配置伯東美國(guó) HVA 真空閥門(mén) 11000 系列，尺寸以 4”, 6”, 8”閥門(mén)口徑為主的標(biāo)準(zhǔn)不銹鋼氣動(dòng)高真空閘閥,
 

HVA 不銹鋼真空閘閥 11000 系列標(biāo)準(zhǔn)技術(shù)規(guī)格: 

 

下圖是某 OLED 鍍膜機(jī)廠家配置上海伯東美國(guó) HVA 高真空閥門(mén)

 

OLED 鍍膜機(jī)主要面向半導(dǎo)體照明客戶, 需要鍍膜機(jī)性能穩(wěn)定, 器件效率高, *,

對(duì)于生產(chǎn) OLED 鍍膜機(jī)的客戶, 為了節(jié)省抽空時(shí)間和防止基片的污染, 會(huì)選擇在 LOADLOCK 與主腔間進(jìn)行快速傳樣, 由于兩腔室工作的真空度要求不同, 會(huì)在腔室之間增加高真空閥門(mén)來(lái)隔離系統(tǒng).

 

伯東美國(guó) HVA 真空閥門(mén)已廣泛應(yīng)用于 OLED 鍍膜機(jī)
 

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