HVA 真空閥門 11000 用在 OLED 鍍膜機(jī)

時(shí)間：2024-01-11作者：伯東企業(yè)（上海）有限公司瀏覽：20

國內(nèi)某 OLED 鍍膜機(jī)廠家配置伯東美國 HVA 真空閥門 11000 系列，尺寸以 4”, 6”, 8”閥門口徑為主的標(biāo)準(zhǔn)不銹鋼氣動(dòng)高真空閘閥,
 

HVA 不銹鋼真空閘閥 11000 系列標(biāo)準(zhǔn)技術(shù)規(guī)格: 

閥門材質(zhì):
- 閥門主體	304 不銹鋼
- 焊接波紋管軸封	AM - 350
閥門密封方式
- 高真空	氟橡膠
- 高真空	銅墊圈 / 氟橡膠
真空:
- 壓力范圍	高真空 1x10-9 mbar, 高真空 1x10-10 mbar
- 漏率	< 2x10-9  mbar l/S
- 差壓關(guān)閉	1 bar ( 任意位置 )
- 開啟前大壓力	≤ 30 mbar
烘烤溫度（不含電磁閥）:
- 彈性體密封閥蓋	150°C
- 金屬密封閥蓋	-開啟溫度：200°C -關(guān)閉值：150°C
- 驅(qū)動(dòng)方式	手動(dòng) 60 °c, 氣動(dòng) 60 °c
機(jī)制
手動(dòng)：	手搖曲柄
電磁閥供電電壓	120 VAC 50 /60 Hz
電磁閥可選電壓	24, 200, 240 VAC 50/60 Hz  或 12, 24 VDC
電磁閥位置指示器,大	115 VAC  或 28 VDC, 20 mA
氣動(dòng)送風(fēng)：	80 psig
使用壽命: 100,000 啟閉次數(shù) (具體視實(shí)際使用情況決定)
公稱通徑: DN 16 - 800 mm

 

下圖是某 OLED 鍍膜機(jī)廠家配置上海伯東美國 HVA 高真空閥門

 

OLED 鍍膜機(jī)主要面向半導(dǎo)體照明客戶, 需要鍍膜機(jī)性能穩(wěn)定, 器件效, ,

對(duì)于生產(chǎn) OLED 鍍膜機(jī)的客戶, 為了節(jié)省抽空時(shí)間和防止基片的污染, 會(huì)選擇在 LOADLOCK 與主腔間進(jìn)行快速傳樣, 由于兩腔室工作的真空度要求不同, 會(huì)在腔室之間增加高真空閥門來隔離系統(tǒng).

 

伯東美國 HVA 真空閥門已廣泛應(yīng)用于 OLED 鍍膜機(jī)
 

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上海伯東 : 羅女士 


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• 詞條

  詞條說明

• 上海伯東美國 HVA 真空插板閥在半導(dǎo)體管道中的應(yīng)用

  半導(dǎo)體后端工藝制程中需要使用到例如 Ar, O2 或是其他特殊氣體,氣體管路系統(tǒng)(真空管路)的作用是把各種氣體在滿足工藝制程要求的純度, 壓力和流量的前提下穩(wěn)定的供應(yīng)到工藝設(shè)備內(nèi). 上海伯東美國 HVA?插板閥廣泛用于高真空或高真空的氣體輸送環(huán)節(jié),?用來改變氣流方向,?調(diào)節(jié)氣流量大小,?切斷或接通管路,?起到真空隔離密封等作用. 美國 HVA&nb

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