HVA 真空閥門應(yīng)用于E-Beam 鍍膜機(jī)

時間：2023-05-19作者：伯東企業(yè)（上海）有限公司瀏覽：34

某品牌 Sputtering + E-Beam PVD 鍍膜機(jī)系統(tǒng)采用 HVA 真空閥門 11000, HVA 真空閥門安裝在分子泵口便于泵的檢修,同時外系統(tǒng)停機(jī)時不破壞系統(tǒng)真空, 只要對泵內(nèi)部進(jìn)行破真空即可.




E-Beam 鍍膜機(jī)設(shè)備組成: 系統(tǒng)主要由蒸發(fā)室, 電子, 進(jìn)樣室 (可選) , 旋轉(zhuǎn)基片加熱臺, 工作氣路, 抽氣系統(tǒng), 真空測量, 電控系統(tǒng)及安裝機(jī)臺等部分組成.

 

基片在做實驗**般需要做鍍前預(yù)處理, 鍍前預(yù)處理的目的是為了得到干凈新鮮的金屬表面, 為后獲得高質(zhì)量鍍層作準(zhǔn)備, 要進(jìn)行脫脂, 去銹蝕, 去灰塵等工作, 也有客戶在 LOADLOCK 腔進(jìn)行射頻反應(yīng)清洗, 通過使用上海伯東 KRI 離子源將基片的表層打掉, 得到光滑和均勻的表面.

 

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上海伯東 : 羅先生                               


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