【晶圓切割】晶圓切割有哪幾種方法

時(shí)間：2021-05-06作者：北京華諾恒宇光能科技有限公司瀏覽：403

晶圓切割有哪幾種方法
     現(xiàn)階段，硬脆材料切割技術(shù)主要有外圓切割、內(nèi)圓切割和線銘切割。外圓切割組然操作簡(jiǎn)單，但據(jù)片剛性差，切割全過(guò)程中鋸片易方向跑偏.造成 被切割工們的平面度差:而內(nèi)圓切割只有進(jìn)行直線切割.沒(méi)法進(jìn)行斜面切割.線鋸切割技術(shù)具備割縫窄、高效率、切成片*、可進(jìn)行曲線圖切別等優(yōu)點(diǎn)成為口前普遍選用的切割技術(shù)。




內(nèi)圓切割時(shí)晶片表層損害層大，給CM P產(chǎn)生挺大黔削拋光工作中較:刃口寬.材料損害大.品片出率低:成木高。生產(chǎn)效率低:每一次只有切割一片.當(dāng)晶圓直徑達(dá)到300 mm時(shí).內(nèi)圓刀頭外徑將達(dá)到1.18 m.內(nèi)徑為410 mm.在生產(chǎn)制造、安裝與調(diào)節(jié)上產(chǎn)生許多艱難.故后期主要發(fā)展趨勢(shì)線切別主導(dǎo)的晶圓切割技術(shù)。

金剛石線鋸足近十幾年來(lái)得到 *發(fā)展趨勢(shì)的硬脆材料切割技術(shù).包含自由助料線鋸和固結(jié)耐磨材料線鋸兩大類。依據(jù)鋸絲的運(yùn)動(dòng)方式和機(jī)冰構(gòu)造.又可分成往復(fù)式和單邊(環(huán)狀)線鋸。

現(xiàn)階段在光電材料工業(yè)生產(chǎn)中，應(yīng)用較為普遍的是往復(fù)式多線鋸晶圓切割。





北京華諾恒宇光能科技有限公司專注于北京晶圓切割,北京濾光片,北京生物芯片等

• 詞條

  詞條說(shuō)明

• 石英玻璃有哪些特性

  石英玻璃有哪些特性石英玻璃片，一般是由石英玻璃切割磨制而成，石英玻璃既可以透過(guò)遠(yuǎn)紫外線，也是透紫外材料較優(yōu)者，可透過(guò)可見(jiàn)光能夠近紅外光譜。石英玻璃具有耐高溫，以及熱膨脹系數(shù)非常小等特性，具有很好的化學(xué)穩(wěn)定，其中氣泡、均勻性、條紋、雙折射可同一般光學(xué)玻璃媲美，石英玻璃可在各種惡劣場(chǎng)合下工作，是具有高穩(wěn)定度，是光學(xué)系數(shù)的**的光學(xué)材料。石英玻璃的特性1、耐高溫性：石英玻璃具有耐高溫型，它的軟化點(diǎn)溫

• 【晶圓切割】晶圓切割有哪幾種方法

  晶圓切割有哪幾種方法?????現(xiàn)階段，硬脆材料切割技術(shù)主要有外圓切割、內(nèi)圓切割和線銘切割。外圓切割組然操作簡(jiǎn)單，但據(jù)片剛性差，切割全過(guò)程中鋸片易方向跑偏.造成 被切割工們的平面度差:而內(nèi)圓切割只有進(jìn)行直線切割.沒(méi)法進(jìn)行斜面切割.線鋸切割技術(shù)具備割縫窄、高效率、切成片*、可進(jìn)行曲線圖切別等優(yōu)點(diǎn)成為口前普遍選用的切割技術(shù)。內(nèi)圓切割時(shí)晶片表層損害層

• 玻璃儀器使用注意事項(xiàng)

  玻璃儀器使用注意事項(xiàng)玻璃的化學(xué)穩(wěn)定性好，但并不是**不受侵蝕，而是其受侵蝕的程度符合一定的標(biāo)準(zhǔn)。因玻璃被侵蝕而又痕量離子進(jìn)入溶液中和玻璃表面吸附溶液中的待測(cè)分析離子，是微量分析要注意的問(wèn)題。所以，玻璃儀器不管是使用或洗滌或存放都有一定的禁忌，大家一定要知曉！比如，氫氟酸很強(qiáng)烈地腐蝕玻璃，故不能用玻璃儀器進(jìn)行含有氫氟酸的實(shí)驗(yàn)。堿液特別是濃的或熱的堿液隊(duì)玻璃明顯地腐蝕。儲(chǔ)存堿液的玻璃儀器如果是磨口儀器

• 【玻璃激光切割】玻璃的激光切割原理

  玻璃的激光切割原理1.玻璃對(duì)激光的吸收激光波長(zhǎng)大于5 um時(shí)有較高的吸收率CO 2激光的波長(zhǎng)為10.6 um，非常適合切割玻璃當(dāng)今大多數(shù)的激光切割設(shè)備的功率均為100~500 W的封離型CO 2激光器.波長(zhǎng)在1 um左右的半導(dǎo)體激光器和N d：YA G激光器也可用于激光切割，但切割原理不同激光切割玻璃技術(shù)是應(yīng)力切割，切割金屬是熔融切割2.CO 2激光器的玻璃切割工藝玻璃切割大多采用封離型CO 2激