氦質(zhì)譜檢漏儀 MPCVD 檢漏, 實(shí)現(xiàn)金剛石膜制備

時(shí)間：2023-04-12作者：伯東企業(yè)（上海）有限公司瀏覽：62

氦質(zhì)譜檢漏儀 MPCVD 檢漏, 實(shí)現(xiàn)金剛石膜制備
微波等離子體化學(xué)氣相沉積法 Microwave Plasma CVD (MPCVD) 是目前**上被用于金剛石膜制備的公認(rèn)方法. MPCVD 裝置將微波發(fā)生器產(chǎn)生的微波經(jīng)波導(dǎo)傳輸系統(tǒng)進(jìn)入反應(yīng)器, 并通入甲烷與氫氣的混合氣體, 在微波的激發(fā)下, 在反應(yīng)室內(nèi)產(chǎn)生輝光放電, 使反應(yīng)氣體的分子離化, 產(chǎn)生等離子體, 在基板臺(tái)上沉積得到金剛石膜. 上海伯東某客戶(hù)投資數(shù)億元采購(gòu) MPCVD 長(zhǎng)晶設(shè)備用于人造金剛石的生產(chǎn), 預(yù)計(jì)年產(chǎn)量萬(wàn)片.

MPCVD 需要檢漏: 在使用 MPCVD 設(shè)備進(jìn)行金剛石合成的過(guò)程中, 如果設(shè)備有泄漏的情況, 將會(huì)使合成的金剛石中摻有雜質(zhì), 影響金剛石的品質(zhì), 一般漏率要求 1E-9 mbar l/s. 需要快速的對(duì)設(shè)備進(jìn)行定量的泄露檢測(cè), 傳統(tǒng)檢漏方式無(wú)法滿(mǎn)足.

上海伯東 MPCVD 設(shè)備檢漏客戶(hù)案例: 為了解決這一問(wèn)題, 上海伯東推薦客戶(hù)采購(gòu)氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 340, 利用真空法對(duì) MPCVD 進(jìn)行檢漏, 漏率設(shè)置 1E-9 mbar l/s.
1. 將設(shè)備通過(guò)波紋軟管連接檢漏儀 ASM 340, 確認(rèn)連接完畢
2. 啟動(dòng) ASM 340, 進(jìn)入待機(jī)界面; 初次啟動(dòng)時(shí)間大約 3min, 以后啟動(dòng) < 1min
3. 按下開(kāi)始鍵, 先通過(guò) bypass 閥門(mén)啟動(dòng)干式真空泵 ACP 28 抽真空, 到達(dá)一定壓力檢漏儀 ASM 340 開(kāi)始工作, 同時(shí)在設(shè)備懷疑有漏的地方噴氦氣  (腔體, 焊縫, 連接處); 若有漏, 檢漏儀馬上報(bào)警, 顯示該噴射點(diǎn)有漏.
4. 檢測(cè)完畢, 按下檢漏儀待機(jī)鍵, 放氣, 關(guān)閉電源, 移除連接管路.
氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 340 與傳統(tǒng)泡沫檢漏和壓差檢漏對(duì)比, 在提供無(wú)損檢漏的同時(shí)可以出小的漏率 5E-13 Pa m3/s, 利用氦氣作為示蹤氣體可定位, 定量漏點(diǎn).

	型號(hào)	ASM 340 W
	對(duì)氦氣的小檢測(cè)漏率	5E-13 Pa m3/s
	檢測(cè)模式	真空模式和吸式
	檢測(cè)氣體	4He, 3He, H2
	啟動(dòng)時(shí)間 min	3
	對(duì)氦氣的抽氣速度 l/s	2.5
	進(jìn)氣口大壓力 hPa	25
	前級(jí)泵抽速 m3/h	油泵 15
	重量 kg	56


結(jié)合了 Pfeiffer 與 Adixen 兩家檢漏儀的技術(shù)優(yōu)勢(shì), 上海伯東德國(guó) Pfeiffer 推出全系列新型號(hào)氦質(zhì)譜檢漏儀, 從便攜式檢漏儀到工作臺(tái)式檢漏儀滿(mǎn)足各種不同的應(yīng)用. 氦質(zhì)譜檢漏儀替代傳統(tǒng)泡沫檢漏和壓差檢漏, 利用氦氣作為示蹤氣體可定位, 定量漏點(diǎn). 氦質(zhì)譜檢漏儀滿(mǎn)足單機(jī)檢漏, 也可集成在檢漏系統(tǒng)或 PLC. 推薦氦質(zhì)譜檢漏儀應(yīng)用 >>

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