哪些因素會(huì)影響膜厚儀的性能

時(shí)間：2022-06-17作者：江蘇天瑞儀器股份有限公司瀏覽：117

哪些因素會(huì)影響膜厚儀的性能

一、基體金屬磁化。
由于膜厚儀的磁性測(cè)量受基體金屬磁性變化的影響（在實(shí)際應(yīng)用中，低碳鋼的磁性變化可視為輕微）。為避免熱處理、冷加工等因素的影響，儀器應(yīng)在與鍍金屬性質(zhì)相同的鐵基板上進(jìn)行校對(duì)。此外，每個(gè)膜厚儀都有一個(gè)基體金屬的臨界厚度，如果其大于該厚度，則不受基體厚度的影響。
二、邊緣效應(yīng)。
由于薄膜厚度計(jì)對(duì)試樣表面的陡峭形狀敏感，因此在試樣邊緣或內(nèi)角附近進(jìn)行測(cè)量是不可靠的。因此，薄膜厚度計(jì)的曲率對(duì)測(cè)量有影響，隨著曲率半徑的減小而顯著增加。因此，不應(yīng)在試樣上測(cè)量**過允許曲率半徑的彎曲面。
三、表面粗糙度。
基體金屬和表面粗糙度對(duì)膜厚度計(jì)的測(cè)量有影響。粗糙的表面會(huì)導(dǎo)致系統(tǒng)誤差和意外誤差。在每次測(cè)量過程中，在不同的位置增加測(cè)量次數(shù)，以克服這種意外誤差。如果基質(zhì)金屬粗糙，必須在未涂覆的粗糙相似的基質(zhì)金屬試件上取幾個(gè)位置來(lái)校對(duì)儀器的零點(diǎn)；或者用無(wú)腐蝕性溶液去除基質(zhì)金屬上的覆蓋層，然后校對(duì)儀器的零點(diǎn)。
影響膜厚儀性能的因素有哪些？
影響膜厚儀性能的因素有哪些？
四，磁場(chǎng)
各種電氣設(shè)備周圍產(chǎn)生的強(qiáng)磁場(chǎng)會(huì)干擾薄膜厚度計(jì)的測(cè)量厚度。薄膜厚度計(jì)對(duì)阻礙探頭與覆蓋層表面緊密接觸的附著物敏感。因此，必須清除附著物，以確保探頭直接接觸覆蓋層表面。值得注意的是，探頭在測(cè)量過程中與樣品表面保持垂直。
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