靜止型回流爐設(shè)備RDT-250EC_獨(dú)立式高性能回流爐

時(shí)間：2021-09-01作者：上海衡鵬實(shí)業(yè)有限公司瀏覽：56

靜止型回流爐設(shè)備RDT-250EC_獨(dú)立式高性能回流爐




MALCOM靜止型回流爐設(shè)備RDT-250EC規(guī)格：
項(xiàng)目	                                        規(guī)格
対象基板尺寸	                 250W×330L㎜以下
	                                 高さ 保持面上下共15mm以下
裝置尺寸	                                 773W×863D×1417H mm
加熱方式	                                上面 ：熱風(fēng)、遠(yuǎn)紅外線(xiàn)輻射并用
	                                下面：遠(yuǎn)紅外線(xiàn)輻射(選項(xiàng))
冷卻方式	                                外部氣體（氮?dú)饣蚩諝猓┩ㄟ^(guò)導(dǎo)入（排氣口連動(dòng)）
	                                附帶冷卻用流量調(diào)整閥門(mén)
電源	                                3相 200V 50/60Hz 10kVA
外部氣體	                                0.3～0.5MPa 100L/min（MAX） 
爐內(nèi)氧濃度 （氮?dú)馐褂脮r(shí)）	MIN 100ppm
基板托盤(pán)	
上面加熱	                                熱風(fēng)、遠(yuǎn)紅外線(xiàn)加熱器：7.2kW(約240W×30格)
	                                ※可對(duì)基準(zhǔn)模組進(jìn)行偏差設(shè)定
下面加熱(選項(xiàng))	
溫度精度	                                常溫～80℃ ：±3℃
	                                80℃～400℃：±2℃
測(cè)定溫度	                                常溫～400℃
測(cè)**數(shù)	                                6點(diǎn)
窒素供給機(jī)能	                流量調(diào)整閥門(mén)：100l/min
制御用専用ソフト	                対応OS：Windows 8.1/10
裝置重量	                                約140㎏



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