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GNX200BP晶圓研磨是一款全自動的連續(xù)向下進(jìn)給研磨機(jī)
GNX200BP晶圓研磨是一款全自動的連續(xù)向下進(jìn)給研磨機(jī) GNX200BP全自動晶圓研磨機(jī)概要: GNX200BP晶圓研磨機(jī)是一款全自動的連續(xù)向下進(jìn)給研磨機(jī)。晶圓由機(jī)械手通過機(jī)器進(jìn)行處理,并裝載/卸載臂。在較終研磨站之后,使用兩個(gè)不同的站進(jìn)行晶片清潔。卡盤轉(zhuǎn)速,砂輪轉(zhuǎn)速和砂輪主軸下降速度可以用來控制砂輪的產(chǎn)量,表面光潔度和砂輪壽命。兩點(diǎn)制程量規(guī)測量系統(tǒng)控制磨削主軸1和2下的晶片厚度。三點(diǎn)磨削主軸角
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5軸水平多關(guān)節(jié)型晶圓搬送機(jī)械臂
5軸水平多關(guān)節(jié)型晶圓搬送機(jī)械臂 5軸水平多關(guān)節(jié)型晶圓搬送機(jī)械臂特點(diǎn): 可用于300mm半導(dǎo)體晶圓搬送的5軸水平多關(guān)節(jié)潔凈機(jī)械手臂GTCR5000系列 單臂雙手指結(jié)構(gòu)能夠?qū)崿F(xiàn)和雙臂結(jié)構(gòu)同樣的功能 適用于300mm半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備內(nèi)部,檢測設(shè)備等的晶圓搬運(yùn) 機(jī)械手臂標(biāo)準(zhǔn)臂長: 210mm, 280mm 機(jī)械手臂可以單獨(dú)對應(yīng)2個(gè)FOUP(210mm臂長) 或者3個(gè)FOUP(280mm臂長) 雙手指結(jié)構(gòu)能夠
公司名: 上海衡鵬實(shí)業(yè)有限公司
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