自動撕膜/手動晶圓貼膜STK-7150

時(shí)間：2021-05-17作者：上海衡鵬能源科技有限公司瀏覽：126

自動撕膜/手動晶圓貼膜STK-7150	


半自動晶圓切割膜貼膜機(jī)STK-7150特點(diǎn)：
自動滾軸貼膜技術(shù)；
手動放置和取出晶圓/承載環(huán)；
自動膠膜進(jìn)給和貼膜；
自動收隔離紙，適用于UV膜和非UV膜；
自動圓形切刀切割膜；
自動撕膜，自動收廢膜 (選項(xiàng))；
晶圓臺盤溫度可編程控制，MAX可達(dá)120℃；
標(biāo)準(zhǔn)8”、12”晶圓臺盤用于8”、12”晶圓，可配置金屬臺盤或高密度陶瓷臺盤；
PLC控制，帶7”觸摸屏；
配置光簾保護(hù)功能，和緊急停機(jī)按鈕；
三色燈塔和蜂鳴器用于操作狀態(tài)監(jiān)控；






晶圓切割膜貼膜機(jī)性能：
晶圓收益：≥99.9%；
貼膜質(zhì)量：沒有氣泡（不包括灰塵顆粒氣泡）；
每小時(shí)產(chǎn)能：≥70片晶圓；
MTBF：>500小時(shí)；
MTTR：<1小時(shí)；
停機(jī)時(shí)間：<3%；



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