ULVAC真空泵故障檢查及處理方法之一

時(shí)間：2013-08-22作者：上海冬海機(jī)電科技有限公司瀏覽：635

ULVAC愛(ài)發(fā)科真空泵故障檢查 : 問(wèn)題1——真空泵不旋轉(zhuǎn) 


故障原因：

①電機(jī)接線(xiàn)錯(cuò)誤   ②帶電磁開(kāi)關(guān)等安全回路安裝錯(cuò)誤

③油的粘度變高   ④異物進(jìn)入泵內(nèi)，轉(zhuǎn)子等發(fā)生咬死

⑤排放反應(yīng)性氣體后、泵停止期間反應(yīng)生成物在泵內(nèi)積存

處理方法：

①檢查接線(xiàn) ②安全回路符合電機(jī)要求 ③換油 

④檢修（更換缸體、轉(zhuǎn)子、蓋板） ⑤檢修（清洗泵的內(nèi)部，除去反應(yīng)生成物）




ULVAC愛(ài)發(fā)科真空泵故障檢查 ：?jiǎn)栴}2 —— 壓力不下降


故障原因：

①相對(duì)于真空容器的容量、泵的排氣容量小

②壓力的測(cè)量方法錯(cuò)誤 ③真空計(jì)不合適

④吸氣口的連接管徑細(xì)小或管道過(guò)長(zhǎng) 

⑤吸氣口的金屬網(wǎng)堵塞 ⑥油量不到規(guī)定值

⑦油變質(zhì)   ⑧連接泵的管道漏氣

⑨沒(méi)有使用本公司的**油

⑩油不循環(huán)a蓋等零件的油路堵塞b油分配閥故障 ⑾泵內(nèi)混入水

處理方法：

①重新選泵 ②正確測(cè)量壓力③使用與測(cè)量壓力范圍相符且校準(zhǔn)正確的真空計(jì) 

④采用大于吸氣口徑的管道、縮短與真空容器的距離

 ⑤拆下吸氣口上部的管道，清洗金屬網(wǎng) ⑥加油到規(guī)定量 

⑦換油 ⑧用氦檢漏儀等檢漏機(jī)器找出漏孔并堵漏 ⑨泵維修后換上本公司的**油 

⑩維修a清潔油路b檢查維修油分配閥 ⑾檢查漏水的地方（泵內(nèi)的冷卻水管、接頭等的檢查、更換）


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  ULVAC愛(ài)發(fā)科真空泵故障檢查 : 問(wèn)題1——真空泵不旋轉(zhuǎn)? 故障原因： ①電機(jī)接線(xiàn)錯(cuò)誤 ??②帶電磁開(kāi)關(guān)等安全回路安裝錯(cuò)誤 ③油的粘度變高 ??④異物進(jìn)入泵內(nèi)，轉(zhuǎn)子等發(fā)生咬死 ⑤排放反應(yīng)性氣體后、泵停止期間反應(yīng)生成物在泵內(nèi)積存 處理方法： ①檢查接線(xiàn)?②安全回路符合電機(jī)要求?③換油? ④檢修（更換缸體、轉(zhuǎn)子、蓋板）