中國大陸半導體材料市場的新突破

時間：2020-03-27作者：儀準科技（北京）有限公司瀏覽：117

半導體材料是半導體產業(yè)發(fā)展的基礎，它融合了當代眾多學科的**成果，在半導體制造技術不斷升級和產業(yè)的持續(xù)創(chuàng)新發(fā)展中扮演著重要角色。半導體技術每前進一步都對材料提出新的要求，而材料技術的每一次發(fā)展也都為半導體新結構、新器件的開發(fā)提供了新的思路。2019年，國內半導體材料在各方共同努力下，部分中**領域**可喜突破，國產化進一步提升。
行業(yè)整體影響下，市場規(guī)模小幅下滑

受行業(yè)整體不景氣影響，2019年**半導體材料市場營收下滑顯著，但下降幅度**整體半導體產業(yè)。據(jù)中國電子材料行業(yè)協(xié)會統(tǒng)計，2019年**半導體材料整體市場營收483.6億美元（約合人民幣3430.7億元），同比2018年的519.4億美元下降6.89%。
從材料的區(qū)域市場分布來看，中國閩臺地區(qū)是半導體材料較大區(qū)域市場，2019年市場規(guī)模達114.69億美元；中國大陸市場規(guī)模81.90億美元（約合人民幣581.5億元）；韓國市場規(guī)模76.12億美元。
?來源：CEMIA
從晶圓制造材料與封裝材料來看，2019年**半導體晶圓制造材料市場規(guī)模293.19億美元，同比2018年的321.56億美元下降8.82%；2019年**半導體晶圓封裝材料市場規(guī)模190.41億美元，同比2018年的197.43億美元下降3.56%。
2019年中國半導體材料市場規(guī)模81.90億美元，同比2018年的84.92億美元下降3.56%，其中晶圓制造材料市場規(guī)模27.62億美元，同比2018年的28.17億美元下降1.95%；封裝材料市場規(guī)模54.28億美元，同比2018年的56.75億美元下降4.35%。
2019年7月22日，科創(chuàng)板首批公司上市。安集微電子作為國內CMP拋光液**，成為首批登陸科創(chuàng)板的25家企業(yè)之一，久日新材、華特氣體、神工股份等緊隨其后，成功登陸科創(chuàng)板，與此同時，正帆科技、格林達等半導體材料企業(yè)在登陸資本市場的進程中進展順利，有望在新的一年迎來里程碑，拓寬了各企業(yè)的融資渠道，也為行業(yè)整體發(fā)展注入新的**。
細分領域發(fā)展不一，部分中**領域**可喜突破

綜合各領域來看，部分領域已實現(xiàn)自產自銷，靶材、電子特氣、CMP拋光材料等細分產品已經**較大突破，部分產品技術標準達到***水平，本土產線已基本實現(xiàn)*批量供貨。2019年我國半導體材料生產企業(yè)用于國內半導體晶圓加工領域的銷售額達138億元，同比增長4.4%。整體國產化率提高到23.8%，充分顯示了近年來企業(yè)綜合實力的提升。

硅片方面，2019年國內市場規(guī)模8.12億美元，同比增長1.63%。作為半導體材料中成本占比較高的材料，國內12/8英寸硅片企業(yè)已**過16家，擬在建產線迭出，2019年各主要產線穩(wěn)步推進。衢州金瑞泓成功拉制出擁有完全自主知識產權的量產型集成電路用12英寸硅單晶棒；中環(huán)良好12英寸硅片廠房安裝了**套設備；徐州鑫晶半導體12英寸大硅片長晶產線試產成功，并陸續(xù)向國內和德國等多家客戶發(fā)送試驗樣片；業(yè)界普遍關注的上海新昇28nm邏輯、3D-NAND存儲正片通過了長江存儲的認證；有研科技集團與德州市**、日本RST公司等共同簽約，建設年產360萬片的12英寸硅片產業(yè)化項目。盡管各企業(yè)小而分散，但大硅片真正實現(xiàn)國產化前景可期。
光掩膜方面，與旺盛的需求形成反差的是國內**掩模**能力不足，大量訂單流向海外。目前，半導體用光掩膜國產化率不足1%。內資企業(yè)中真正從事半導體用光掩模生產的僅有無錫中微，研究機構有中科院微電子所及中國電科13所、24所、47所和55所等，過去一年里，行業(yè)**的實質性突破較少。
光刻膠方面，目前國內集成電路用i線光刻膠國產化率10%左右，集成電路用KrF光刻膠國產化率不足1%，ArF干式光刻膠、ArFi光刻膠全部依賴進口。2019年，南大光電設立光刻膠事業(yè)部，并成立了全資子公司“寧波南大光電材料有限公司”，全力推進“ArF光刻膠開發(fā)和產業(yè)化項目”落地實施；同時與寧波經濟技術開發(fā)區(qū)管理**簽署了《投資協(xié)議書》，擬投資開發(fā)**集成電路制造用各種**光刻膠材料以及配套原材料和底部抗反射層等高純配套材料，形成規(guī)?；a能力，建立配套完整的國產光刻膠產業(yè)鏈。上海新陽248nm光刻膠配套的光刻機已完成廠內安裝開始調試，193nm光刻膠配套的光刻機也已到貨。經過近三年的研發(fā)，關鍵技術已有重大突破，已從實驗室研發(fā)轉向產業(yè)研發(fā)。
濕化學品方面，目前半導體領域整體國產化率23%左右。2019年，興發(fā)集團控股子公司湖北興福電子材料有限公司技術創(chuàng)新**重大突破，電子級磷酸*了中芯**12英寸28nm**制程工藝的驗證測試，開啟了對中芯****制程Fab端的全面供應。此外，長江存儲、廈門聯(lián)芯等**12英寸Fab也開啟了驗證測試。多氟多抓住日韓貿易戰(zhàn)機會，電子級氫氟酸穩(wěn)定批量出口韓國**半導體制造企業(yè)，進入韓國兩大半導體公司的供應鏈中，被較終應用在3D-NAND和 DRAM的工藝制程中，使電子級氫氟酸產品打開**走向世界。
電子特氣方面，目前我國半導體用電子特氣的整體國產化率約為30%。2019年，華特氣體激光準分子混合氣國內大規(guī)模起量應用，同時進軍海外市場；金宏氣體TEOS研發(fā)確定重點進展，即將投放市場；綠菱高純電子級四氟化硅質量穩(wěn)步提升，國內市場份額逐步提高；博純股份氧硫化碳研發(fā)成功；南大光電與雅克科技加大了前驅體研發(fā)力度。此外，中船七一八所也加大了新含鎢制劑的研制。
CMP拋光材料方面，安集微電子的后道Cu/Barrier拋光液技術水平與國內良好集成電路生產商同步，TSV拋光液在**和國內均在良好水平，這幾類拋光液2019年在14nm節(jié)點上實現(xiàn)小規(guī)模量產。鼎龍股份不僅完善了自身的CMP拋光墊型號，從成熟制程到**制程完成全覆蓋，而且進入了長江存儲供應鏈，大部分產品均在晶圓廠進行驗證和測試。
靶材方面，江豐電子已成功突破半導體7nm技術節(jié)點用Al、Ti、Ta、Cu系列靶材**技術并實現(xiàn)量產應用，5nm技術節(jié)點的研發(fā)工作穩(wěn)步進行中。有研億金持續(xù)推進實現(xiàn)納米邏輯器件和存儲器件制備用貴金屬及其合金相關靶材的開發(fā)與使用。
**封裝材料方面，**承載類材料蝕刻引線框架與封裝基板、線路連接類材料鍵合絲與焊料、塑封材料環(huán)氧塑封料與底部填充料等仍高度依賴進口，2019年國內企業(yè)主要在中低端領域有所突破，**領域個別品種實現(xiàn)攻關。
不確定因素增加，半導體材料業(yè)仍篤定前行

目前，國內半導體材料總體上形成了以**企業(yè)為載體，平臺配合推進驗證的能力，具備了一定的產業(yè)基礎、技術積淀，以及人才儲備，部分細分材料領域緊追**水平。但是，**技術節(jié)點材料市場整體仍被國外壟斷，國產材料突破較少，關鍵環(huán)節(jié)**材料空白，影響了整個產業(yè)安全。
半導體產業(yè)加速向中國大陸轉移，中國正成為主要承接地，2020年業(yè)界普遍認為5G會實現(xiàn)大規(guī)模商用，熱點技術與應用推動下，國內半導體材料需求有望進一步增長。大基金二期已完成募資，預計三月底可開始實質投資，主要圍繞國家戰(zhàn)略和新興行業(yè)進行，比如智能汽車、智能電網(wǎng)、人工智能、物聯(lián)網(wǎng)、5G等，預計將加大對國產半導體材料的投入力度，新一輪的資本介入，將助力半導體材料國產替代進度。
新年伊始，世界經濟持續(xù)下行，全年經濟疲弱似成定局，肺炎疫情給行業(yè)發(fā)展帶來了沖擊，中美貿易戰(zhàn)仍未平息，2020年增加了諸多不確定因素。但在確定的發(fā)展目標下，國內半導體材料業(yè)必將篤定前行！
作者劉偉鑫系中國電子材料行業(yè)協(xié)會、中國電子化工新材料產業(yè)聯(lián)盟信息部副主任


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