【單級旋片式真空泵】目前主要的渦旋真空泵的種類


    目前主要的渦旋真空泵的種類有哪些:


    獲得低真空的獨立設(shè)備是機械泵。作為前置泵,獲得高真空泵作為二級泵。

    目前主要有渦旋真空泵

    1、立式油潤滑渦旋真空泵

    2、水冷式干渦旋真空泵

    3、風(fēng)冷式干渦旋真空泵

    4、帶波紋管密封的干渦旋真空泵


    立式油潤滑渦旋真空泵

    泵的徑向間隙具有密封方便的優(yōu)點還有控制。與當時市場上廣泛使用的葉片式真空泵相比,渦旋式真空泵具有較高的容積效率。

    同時,該型真空泵體現(xiàn)了渦流真空泵的高效性,并對如何消除間隙容積和控制間隙提出了有效的方法。

    但由于缺乏冷卻裝置,真空泵的應(yīng)用受到很大限制。同時,隨著半導(dǎo)體工業(yè)的發(fā)展,該系統(tǒng)已不能滿足清洗和耐腐蝕的要求。




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