電漿清洗機(jī)清洗**場(chǎng)效應(yīng)晶體管(OFET)材料的重要性

時(shí)間：2023-02-28作者：深圳子柒科技有限公司瀏覽：55

**場(chǎng)效應(yīng)晶體管(OFETS)是一種有源裝置，它能夠通過(guò)改變柵較電壓來(lái)改變半導(dǎo)體層的導(dǎo)電特性，然后操縱通過(guò)源漏較的電流。**場(chǎng)效應(yīng)晶體管作為電路中的基本元件，以其低功耗、高阻抗、、可大面積生產(chǎn)等優(yōu)點(diǎn)，受到了廣泛的重視，并得到了迅速的發(fā)展。其組成元器件主要由電極、**半導(dǎo)體、隔熱層和基板組成，這些元件對(duì)OFET的性能有很大影響。通過(guò)電漿清洗機(jī)對(duì)電極、**半導(dǎo)體、絕緣層和基片進(jìn)行處理，提高了材料的功能。





1、基片襯底——電漿清洗機(jī)等離子處理，除去基片表面雜質(zhì)，改善表面活性

基片一般在晶體管的底層，首部起著支撐作用?？捎米鱋FET的基片材料：玻璃、硅片、石英、聚碳酸酯(PC)、聚乙烯萘(PEN)、聚酰(PI)、聚乙烯(PET)等。無(wú)機(jī)基板有高熔點(diǎn)、表面光滑的優(yōu)點(diǎn)，如玻璃、硅片、石英。雖然表面看起來(lái)很粗糙，但是這些數(shù)據(jù)顯示了像聚乙烯萘(PEN)和聚乙烯(PET)這樣的彈性可彎曲材料。電漿清洗機(jī)處理的襯底需要在準(zhǔn)備階段對(duì)襯底進(jìn)行處理，以去除襯底表面雜質(zhì)，提高表面活性。





2、電極處理-電漿清洗機(jī)等離子處理

在**場(chǎng)效應(yīng)晶體管(OFET)中，電極是另一重要元件。通常認(rèn)為，當(dāng)**半導(dǎo)體層/電極界面的電勢(shì)壘高度△E
深圳子柒科技有限公司專(zhuān)注于等離子表面處理機(jī),全自動(dòng)點(diǎn)膠機(jī),等離子清洗機(jī)等

• 詞條

  詞條說(shuō)明

• 電漿清洗機(jī)氫去除SiC表面污染物C和O

  SiC該材料是三代半導(dǎo)體材質(zhì)，具有高臨界擊穿電場(chǎng)、高導(dǎo)熱性、高載流子飽和漂移速度等特點(diǎn)。它是**半導(dǎo)體功率器件的*方向，在高壓、高溫、高頻、抗輻射半導(dǎo)體器件低損耗的優(yōu)良性能，是**半導(dǎo)體功率器件的*。? ? ? ??但經(jīng)傳統(tǒng)濕法處理后的SiC表面存在著殘留有C雜質(zhì)和表面容易被氧化等缺點(diǎn)，使得在SiC上不容易形成優(yōu)良的歐姆接觸和低界面態(tài)的MOS結(jié)

• ?plasma等離子體能量密度對(duì)H2氣氛下C2H6脫氫反應(yīng)的影響

  ?plasma等離子體能量密度為860 kJ/mol時(shí)，H2添加量對(duì)C2H6脫氫反應(yīng)的影響：隨著H2濃度增加，C2H6轉(zhuǎn)化率，C2H2、C2H4和CH4收率均有所增加，這表明H2的加入有利于C2H6轉(zhuǎn)化及C2H2、C2H4和CH4生成。產(chǎn)生上述結(jié)果的可能原因是：一方面氫氣因其導(dǎo)熱性好，可大量傳遞熱量，在乙烷plasma等離子體中起稀釋氣體作用;另一方面氫氣的H-H鍵斷裂能為4.48eV，

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