CVD管式爐

時間：2020-06-27作者：鄭州安晟科學(xué)儀器有限公司瀏覽：564

產(chǎn)品介紹：

該款CVD系統(tǒng), 可以分為低溫、中溫、高溫三種加熱形式，加熱元件可分為電阻絲(1200℃以下使用)、硅碳棒(1400℃以下使用)、硅鉬棒(1700℃以下使用)等;

CVD管式爐由供氣系統(tǒng)、加熱系統(tǒng)、真空系統(tǒng)等組成;

1)加熱系統(tǒng)可以分單溫區(qū)、雙溫區(qū)、三溫區(qū)、多溫區(qū)等;

2)真空系統(tǒng)可分為低真空和高真空，較高限真空可以達到10-4Pa(分子泵組);

3)供氣系統(tǒng)是流量調(diào)節(jié)用戶可選質(zhì)量流量計或浮子流量計，混氣路數(shù)用戶可選2路、3路、4路、5路、6路等相混合(主要根據(jù)客戶工藝要求定制);

爐底(可選)配安裝一對滑軌，可用手滑動(主要適用于1200℃以下加裝滑軌)?？梢赃_到快速升降溫的目的，為**較快加熱速率，可以預(yù)先加熱爐子到設(shè)定的溫度，然后移動爐子到樣品區(qū)?？稍跇悠芳訜岷笠苿訝t子到另一端，實現(xiàn)快速降溫功能。

主要用途：

應(yīng)用于高校、科研院所、工礦企業(yè)做高溫氣氛燒結(jié)、氣氛還原、CVD實驗、真空退火用的理想產(chǎn)品。

主要功能和特點：

1、 1200℃爐蓋可打開，可以隨時觀察加熱的物料，并能*降溫，滿足材料急冷急熱的實驗需要;

2、 爐膛采用日本技術(shù)真空吸附成型的高純氧化鋁多晶纖維制成，保溫效果好，耐用節(jié)能，反射率高、溫場均衡，等特點;

3、1)、加熱元件采用高電阻優(yōu)質(zhì)合金絲0Cr27Al7Mo2，較高發(fā)熱溫度可達1200℃;

2)、加熱元件采用優(yōu)質(zhì)硅碳棒，較高發(fā)熱溫度可達1400℃;

3)、加熱元件采用高溫硅鉬棒，較高發(fā)熱溫度可達1700℃;

4、數(shù)字質(zhì)量流量控制系統(tǒng)是由多路質(zhì)量流量計，流量顯示儀等組成，實現(xiàn)氣體的流量的精密測量和控制;每條氣體管路均配備高壓逆止閥，保證系統(tǒng)的安全性和連續(xù)均勻性。

5、爐管采用高純石英管高溫下化學(xué)穩(wěn)定性強，耐腐蝕，熱膨脹系數(shù)小，能承受急冷急熱的溫度。

6、采用KF快速法蘭密封，僅需要一個卡箍就能完成法蘭的連接，放、取物料方便快捷，避免了螺栓密封人為操作導(dǎo)致漏氣的可能;減少了因安裝法蘭而造成加熱管損壞的可能。

7、預(yù)留了真空、氣路快速接口，可配合我司真空系統(tǒng)、混氣系統(tǒng)使用;

8、我司可預(yù)留485轉(zhuǎn)換接口，可通過我部的軟件，與計算機互聯(lián)，可實現(xiàn)單臺或者多臺電爐的遠程控制、實時追蹤、歷史記錄、輸出報表等功能;可安裝無紙記錄裝置，實現(xiàn)數(shù)據(jù)的存儲、輸出;

9、加熱采用上蓋開啟式，溫和斷偶保護警報并斷電，漏電保護，操作安全可靠。


鄭州安晟科學(xué)儀器有限公司專注于高溫電阻爐,高溫馬弗爐,真空管式爐,高溫升降爐等

• 詞條

  詞條說明

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