大氣常壓等離子清洗機(jī)又稱常壓射流等離子處理機(jī),即在普通大氣的環(huán)境下進(jìn)行等離子清洗。大氣等離子清洗機(jī)由等離子發(fā)生器、氣體輸送管及等離子處理工作站等部分組成。等離子發(fā)生器產(chǎn)生高壓高頻能量在噴頭鋼管中被激活和被控制的輝光放電中產(chǎn)生了低溫等離子體,借助壓縮空氣將等離子體噴向工件表面,當(dāng)?shù)入x子體與被處理物體表面相遇時(shí),產(chǎn)生了化學(xué)作用和物理變化,表面得到了清潔,去除了碳化氫類污物,如油脂、輔助添加劑等,根據(jù)材料成分,其表面分子鏈結(jié)構(gòu)得到了改變。建立了羥基、羧基等自由基團(tuán),這些基團(tuán)對各種涂敷材料具有促進(jìn)其粘合的作用,在粘合和油漆應(yīng)用時(shí)得到了優(yōu)化。在同樣效果下,應(yīng)用等離子體處理表面可以得到非常薄的高張力涂層表面,不需其他機(jī)械、化學(xué)處理等任何強(qiáng)烈作用成分來增加粘合性。
上圖常壓等離子清洗機(jī)(即等離子處理機(jī)1.原理圖2.設(shè)備外觀3.放電效果圖
真空等離子清洗機(jī)由真空腔體及高頻等離子電源、抽真空系統(tǒng)、充氣系統(tǒng)、自動(dòng)控制系統(tǒng)等部分組成。工作基本原理是利用真空泵將工作室進(jìn)行抽真空達(dá)到30-50Pa 的真空度,再在高頻發(fā)生器交變電場的作用下,將氣體進(jìn)行電離,形成等離子體(物質(zhì)*四態(tài)),其顯著的特點(diǎn)是高均勻性輝光放電,根據(jù)不同氣體發(fā)出從藍(lán)色到深紫色的彩色可見光,材料處理溫度接近室溫?;钚缘入x子對被清洗物進(jìn)行物理轟擊與化學(xué)反應(yīng)雙重作用,使被清洗物表面物質(zhì)變成粒子和氣態(tài)物質(zhì),經(jīng)過抽真空排出,從而達(dá)到清洗目的,并且得到了表面親水性、拒水性、低摩擦、高度清潔、激活、蝕刻等各種表面改性 。真空等離子機(jī)所有的參數(shù)均同電腦設(shè)置和數(shù)據(jù)記錄,是自動(dòng)化程度高,具有高精度的控制裝置。
上圖真空等離子清洗設(shè)備:1.原理圖2.外觀圖3.放電圖
大氣常壓等離子清洗設(shè)備,如今應(yīng)用多的就是手機(jī)行業(yè)---手機(jī)玻璃表面活化處理,底板點(diǎn)膠前處理,封裝**處理,手機(jī)殼表面噴漆前活化處理等等。一般的手機(jī)工廠每日幾千到幾萬的產(chǎn)能,就必須要有快速的活化處理工藝,大氣等離子清洗機(jī)就是為此而生的。無論配合在三軸平臺(tái),傳輸機(jī)還是裝在整條流水線上,大氣等離子清洗機(jī)都能快速使被處理材料其中一個(gè)表面達(dá)到很好的活化效果。
真空等離子清洗機(jī)它是以其高性能,高質(zhì)量,還有過硬的品質(zhì),以及安全的產(chǎn)品為特點(diǎn),處理效果比較精密全面,很多的產(chǎn)品它本身的材質(zhì)問題,所以不能使用像大氣等離子設(shè)備那樣的溫度相對來說比較高一點(diǎn)的等離子設(shè)備,這樣的時(shí)候可以選擇真空等離子設(shè)備。
簡爾言之:大氣常壓等離子清洗機(jī)快速量產(chǎn),真等離子清洗機(jī)的技術(shù)比較精密全面
其中區(qū)別詳細(xì)如下
一、由于常壓等離子的噴嘴中是直噴出的離子,這種情況由噴嘴的結(jié)構(gòu)間接的改變了離子的運(yùn)動(dòng)方向(直接面對被處理材料)。從而使大氣等離子在流水線上只能處理一個(gè)表面,這也是與真空等離子清洗大的區(qū)別之一。真空等離子清洗機(jī)在工作中,腔體內(nèi)部的離子是不定向的,只要材料在腔體裸露出的部分,不管是哪個(gè)面哪個(gè)角落都可以清洗得到。
二、在使用氣體方面,大氣常壓等離子清洗機(jī)工作時(shí)只需要接入壓縮空氣,當(dāng)然想效果好直接接入氮?dú)?。而真空型等離子清洗機(jī)在氣體上會(huì)有多的選擇,并且可以選擇多種氣體進(jìn)行匹配對材料表面氧化物、納米級別微生物的去除有著強(qiáng)的改善。在這里要強(qiáng)調(diào)的是:大氣型通入氣體的目的主要是為了活化,侵潤性增強(qiáng)。而真空型通入氣體的目的是為了增強(qiáng)蝕刻效果,去除污染物,去除**物,侵潤性增強(qiáng)等。顯然氣體的選擇范圍廣,真空等離子清洗的工藝會(huì)應(yīng)用得為廣泛。
三、離子產(chǎn)生條件,這個(gè)比較直觀的就可以看出,大氣型依賴接入氣體,氣體壓力要達(dá)到0.2mpa左右才可以產(chǎn)生離子。而真空型則依賴于真空泵,產(chǎn)生離子之前,即使不接入任何外接氣體,要將腔體內(nèi)部的真空度抽到25pa以下才能產(chǎn)生離子。
四、溫度。大氣等離子清洗機(jī)雖然處理材料幾秒之后的溫度在60°-75°左右,但這個(gè)數(shù)據(jù)是按照噴槍距離材料15mm,功率在500W,配合在三軸速度為120mm/s來測的。當(dāng)然功率,接觸時(shí)間,處理的高度都會(huì)對溫度有所影響。特別注意的是:大氣等離子清洗機(jī)噴槍工作時(shí)的噴出的“火焰”分為內(nèi)焰和外焰,我們清洗時(shí)都是拿外焰去洗,內(nèi)焰在噴嘴里面,從外面是看不到的。但是如果在噴出“火焰”的情況下長時(shí)間對著某一個(gè)點(diǎn)不運(yùn)動(dòng)進(jìn)行處理很容易對表面產(chǎn)生灼燒。所以大氣等離子的溫度要在實(shí)際工況下才能測得具體數(shù)值。
而真空型等離子清洗機(jī)就沒那么復(fù)雜,按電源頻率劃分,40KHz和13.56MHz為例:通常情況下材料放入腔體內(nèi)工作,頻率為40KHz一般溫度為65°以下,再者機(jī)器內(nèi)部裝有強(qiáng)冷風(fēng)扇,處理時(shí)間不長的話,材料表面溫度都會(huì)跟室溫一致。頻率為13.56MHz的就會(huì)低,通常情況是30°以下。所以處理一些受熱易發(fā)生形變的材料,低溫真空型等離子清洗機(jī)的是在再適合不過了。
詞條
詞條說明
等離子清洗機(jī)可應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)、薄膜電路、元器件封裝前、連接器粘接等行業(yè)的二次精密清洗。等離子清洗機(jī)Plasma Cleaner又被稱為等離子蝕刻機(jī)、等離子去膠機(jī)、等離子活化機(jī)、Plasma清洗機(jī)、等離子表面處理機(jī)、等離子清洗系統(tǒng)等。等離子處理機(jī)廣泛應(yīng)用于等離子清洗、等離子刻蝕、等離子晶圓去膠、等離子涂覆、等離子灰化、等離子活化和等離子表面處理等場合,通過等離子清洗機(jī)的表面處理,能夠改善材料表面的
產(chǎn)品特點(diǎn): 快速接插式噴槍組件,維護(hù)簡便 進(jìn)口放電電及噴嘴,壽命可達(dá) 汽車密封條等離子表面處理機(jī)處理系統(tǒng) 產(chǎn)品特點(diǎn): 快速接插式噴槍組件,維護(hù)簡便 進(jìn)口放電電及噴嘴,壽命可達(dá)8000小時(shí) 進(jìn)口陶瓷絕緣體,**擊穿,等離子體穩(wěn) 同軸一體新型旋轉(zhuǎn)噴槍,無皮帶及帶輪,低噪音,低震動(dòng),**長使用壽命 讓植絨簡單,讓絨毛牢固! 擺脫掉毛煩惱,提升產(chǎn)品質(zhì)量,降低生產(chǎn)成本! 密封條等離子表面處理機(jī)系統(tǒng)
等離子清洗機(jī)設(shè)備在集成電路和MEMS行業(yè)的應(yīng)用
????在集成電路或MEMS微納米加工前道工序中,晶圓表面會(huì)涂上光刻膠,然后光刻,顯影,但光刻膠只是圖形轉(zhuǎn)化的媒介,當(dāng)光刻后在光刻膠上形成微納米圖形后,需要進(jìn)行下一步的生長或刻蝕的工藝,之后需要用某種方法把光刻膠去除。等離子體去膠機(jī)可實(shí)現(xiàn)此功能。它用射頻或微波方式產(chǎn)生等離子體,同時(shí)通入氧氣或其他氣體,等離子體與光刻膠進(jìn)行反應(yīng),形成氣體被真空泵抽走 等離子清
等離子體清洗機(jī)的處理能有效提升材料表面親水性,提高達(dá)因值,改善材料之間的粘接性能,清洗表面**污染物等等離子清洗機(jī)處理太陽能電池板接線盒在太陽能電池板組件TPT背板粘接整流接線盒前等離子清洗機(jī)進(jìn)行表面處理,可使接線盒與背板粘接牢固度大幅提升,保證電池組件在高低溫等惡劣的自然環(huán)境下正常工作,延長太陽能電池板使用壽命等離子清洗機(jī)可確保多種不同的粘接劑均能夠可靠粘接到太陽能電池組件上,并盡可能提高粘接質(zhì)
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