plasma 等離子清洗機(jī)是通過(guò)常壓或真空環(huán)境下產(chǎn)生的等離子體,對(duì)材料表面進(jìn)行清洗、活化,刻蝕等處理,以獲得潔凈、有活性的表面,增加了產(chǎn)品的耐用性,同時(shí)為后道的工續(xù)(例如印刷、粘接、貼全、封裝)提供良好的界面狀態(tài),廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、微電子、航空航天技術(shù)、PCB電路板、LCD、LED產(chǎn)業(yè),光伏太陽(yáng)能、手機(jī)通訊、光學(xué)材料,汽車(chē)制造,納米技術(shù)、生物醫(yī)療等領(lǐng)域。
等離子清洗工藝,一種新型的材料表面改性方法,等離子清洗機(jī)具有低能耗、污染小、處理時(shí)間短、效果等明顯的特點(diǎn),可以輕松去除肉眼看不到的材料表面的**物和無(wú)機(jī)物,同時(shí)活化材料表面,增加浸潤(rùn)效果,提高材料的表面能,附著力和親水性。等離子清洗省去了濕法化學(xué)處理工藝中所不可缺少的烘干,廢水處理等工藝;若與其他干式工藝如放射線(xiàn)處理、電子束處理、電暈處理等相比,等離子清洗機(jī)*特之處在于它對(duì)材料的作用只發(fā)生在其表面幾十至數(shù)千埃厚度范圍內(nèi),既能改變材料表面性質(zhì)又不改變本體性質(zhì)。
●等離子清洗機(jī)在紡織行業(yè)的”清洗“應(yīng)用:等離子清洗機(jī)采用的等離子體表面處理技術(shù)是一種綠色、環(huán)保、安全、節(jié)能的干式加工方式,低溫等離子體中的高能活性粒子與材料表面相互作用,例如:表面活化、接枝聚合等,改變了材料表面的形貌特征和化學(xué)組成。
等離子體是呈電中性的基團(tuán),但其中含有大量的活性粒子:電子、離子、激發(fā)態(tài)分子原子、自由基、光子等,它們的能量范圍在1-10eV,這樣的能量級(jí)別是紡織材料中**分子的結(jié)合能的能量范圍,因此等離子體中的活性粒子會(huì)和紡織材料表面發(fā)生物理和化學(xué)作用,物理作用如解吸、濺射、激發(fā)、刻蝕;化學(xué)反應(yīng)例如交聯(lián)、氧化、聚合、接枝等。
●等離子清洗機(jī)對(duì)金屬表面“清洗”
金屬表面常**層和氧化物層,如油脂、油污等,用等離子清洗機(jī)清洗油污是一個(gè)使**大分子逐步降解的過(guò)程,在濺射、油漆、粘接、焊接、釬焊和PVD、CVD涂層前,等離子清洗機(jī)是一種清洗很精細(xì)、很的表面處理設(shè)備。通過(guò)等離子體中的高能量粒子,臟污會(huì)轉(zhuǎn)化為穩(wěn)定的小型分子 ,經(jīng)過(guò)等離子清洗機(jī)處理過(guò)的物體表面形成許多新的活性基團(tuán),使物體表面發(fā)生“活性”而改變性能,可以大大改善物體表面浸潤(rùn)性能和黏著性能,等離子清洗過(guò)程中不需要水和溶劑,只要空氣就能夠滿(mǎn)足要求,使用方便而且沒(méi)有污染,清洗完成之后物體表面是干燥的
●等離子清洗機(jī)對(duì)IC芯片的清洗:
在IC芯片制造領(lǐng)域中,等離子體處理技術(shù)已是一種**的成熟工藝,不論在芯片源離子的注入,還是晶元的鍍膜,等離子清洗機(jī)能輕松去除晶元表面氧化膜、**物、去掩膜等**凈化處理及表面活化提高晶元表面浸潤(rùn)性。
對(duì)芯片與封裝基板的表面進(jìn)行等離子體處理能有效增加其表面活性,大的改善粘接環(huán)氧樹(shù)脂在其表面的流動(dòng)性,提高芯片和封裝基板的粘結(jié)浸潤(rùn)性,減少芯片與基板的分層,改善熱傳導(dǎo)能力,提高IC封裝的可靠性、穩(wěn)定性,增加產(chǎn)品的壽命。
集成電路引線(xiàn)鍵合的質(zhì)量對(duì)微電子器件的可靠性有決定性影響,鍵合區(qū)必須無(wú)污染物并具有良好的鍵合特性。污染物的存在,如氧化物、**殘?jiān)榷紩?huì)嚴(yán)重削弱引線(xiàn)鍵合的拉力值。傳統(tǒng)的濕法清洗對(duì)鍵合區(qū)的污染物去除不或者不能去除,而采用等離子體清洗能有效去除鍵合區(qū)的表面沾污并使其表面活化,能明顯提高引線(xiàn)的鍵合拉力,大的提高封裝器件的可靠性
●等離子清洗機(jī)對(duì)生物醫(yī)用材料的”清洗“
常規(guī)的清洗方法有一定的缺陷:常在清洗后仍然殘留薄薄的一層污染物。但如果采取等離子體活化工藝清洗,弱化學(xué)鍵將很容易被打斷,即使污染物殘留是在幾何形狀非常復(fù)雜的表面上,也照樣可以去除掉。
導(dǎo)尿管一般是以橡膠、硅橡膠或聚氯乙烯(PVC)材料制成,因其材料本身的生物相容性較差,需采用等離子體改性,提高基材的浸潤(rùn)性,并在PVC表面涂覆了三氯生和溴硝醇,改性后的PVC材料能殺死細(xì)菌及抗細(xì)菌的黏附,從而減少了材料在使用過(guò)程中引起的患者感染,提高了材料的生物相容性.
培養(yǎng)皿、滾瓶、微載體和細(xì)胞膜等細(xì)胞培養(yǎng)基質(zhì)的表面均可以通過(guò)等離子體改性來(lái)大大提高其潤(rùn)濕性。通過(guò)控制表面的化學(xué)結(jié)構(gòu)、表面能和表面電荷狀態(tài)可以改善細(xì)胞生長(zhǎng)情況、蛋白結(jié)合性能以及特定細(xì)胞附著性能。低溫等離子體處理技術(shù),是一種中性的、無(wú)污染的干法處理,即能清洗基體表面,亦能對(duì)基體材料進(jìn)行表面改性,改善基材表面能、浸潤(rùn)性、活化等性能。
材料等離子處理前后表面能的變化比對(duì)
上圖中是經(jīng)過(guò)等離子處理后的效果比對(duì)照片,處理過(guò)的位置材料表面張力大幅提高,達(dá)到親水效果,
從而使粘接效果得到**改善。
詞條
詞條說(shuō)明
等離子清洗機(jī)在汽車(chē)工業(yè)的應(yīng)用
以前未經(jīng)任何處理儀表盤(pán)或控制面板涂覆效果非常差,不抗磨,容易掉漆等現(xiàn)象,用化學(xué)方法處理雖然能改變涂覆的效果,但同時(shí)也改變了儀表盤(pán)等基材的性能,使得其強(qiáng)度有所降低。目前很多廠(chǎng)家已經(jīng)使用等離子清洗機(jī)來(lái)處理這些基材,等離子清洗機(jī)通過(guò)等離子體轟擊,材料表面微觀(guān)層面活性增強(qiáng),能明顯改善涂覆效果。根據(jù)實(shí)驗(yàn)得知,用等離子表面處理機(jī)處理不同材料需要選用不同工藝參數(shù)才能達(dá)到好的活化效果。等離子清洗機(jī)Plasma C
戈德?tīng)柕入x子刻蝕機(jī)在PCB線(xiàn)路板行業(yè)去膠渣制程的應(yīng)用
?等離子體又叫做電漿,是由有些電子被掠奪后的原子及原子被電離后發(fā)生的正負(fù)電子構(gòu)成的離子化氣體狀物質(zhì),也有稱(chēng)其為物質(zhì)的*四相態(tài)。等離子體相態(tài)是因?yàn)樵又屑せ碾娮雍头肿訜o(wú)序運(yùn)動(dòng)的狀況,所以具有適當(dāng)高的能量。 (1)PCB多層板等離子刻蝕機(jī)-機(jī)理: 在真空室內(nèi)部的氣體分子里施加能量(如電能),由加快電子的抵觸,使分子、原子的較外層電子被激化,并生成離子,或反響性高的自由基。 如此發(fā)生之離子、
等離子體清洗機(jī)及設(shè)備在干法清洗的優(yōu)勢(shì)
工業(yè)生產(chǎn)中的清洗概念很廣,包括任何與去除污染物有關(guān)的工藝,在不破壞材料表面特性的前提下,有效地清除殘留在材料上的微塵,**雜物及金屬離子?,F(xiàn)等離子清洗機(jī)通過(guò)對(duì)樣品表面進(jìn)行改性(親水性),同時(shí)除掉表面**物,使多種材料之間能夠進(jìn)行貼合、涂覆、鍍膜等工藝操作。從研究開(kāi)發(fā)到工藝生產(chǎn)使用,從表面微細(xì)加工到表面處理改質(zhì)效果都非常好,應(yīng)用廣泛。如今應(yīng)用研究于物理化學(xué)清洗的方法,大致分為兩類(lèi):干法清洗和濕法清洗
等離子清洗機(jī)是一種中性的、無(wú)污染的干式工藝的等離子表面處理設(shè)備,省去了濕法化學(xué)處理工藝中所不可缺少的烘干,廢水處理等工藝,等離子清洗機(jī)既能清洗基體表面,又能對(duì)基體材料進(jìn)行表面改性,改善基材表面能、浸潤(rùn)性、活化等性能,等離子清洗機(jī)利用等離子體中高能粒子和活性粒子,通過(guò)轟擊或活化反應(yīng)作用達(dá)到去除金屬表面污物、灰塵和靜電、金屬表面改性、提高金屬表面的附著力、提高金屬表面抗腐蝕能力、提高金屬的硬度和磨損的
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