真空系統(tǒng)氦質(zhì)譜檢漏服務(wù)

時間：2020-01-05作者：深圳銳誠真空技術(shù)有限公司瀏覽：323

真空氦檢漏服務(wù)


氦質(zhì)譜檢漏方法 根據(jù)被檢漏的零件的具體情況采用不同的方法。真空容器或器件常用噴吹法、氦室法和累積法。噴吹法是用噴槍對可yi部分噴氦氣，找出漏孔的位置，但效率較低;氦室法可對大容器檢漏，將可yi部分用氦室罩上充入氦氣,可以找到漏孔的大致范圍,但漏孔位置不能精準(zhǔn)確定。氦室法檢漏效率較高。對于微小漏孔，可采用累積法，即先用氦室對可yi部分充入氦氣，再將檢漏儀節(jié)流閥關(guān)閉，積累一定時間，打開節(jié)流閥，觀察離子流的變化。這樣，檢漏靈敏度可提高1~2個數(shù)量級。其他方法還有吸收法、背壓法等。對于容積大、放氣量大、漏率大的容器可采用反流檢漏法，即將被檢容器接在真空系統(tǒng)的擴散泵和機械泵之間，利用擴散泵的反流作用，使氦氣反流到質(zhì)譜室而進行檢漏。


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