氮化鈦(TiN)涂層技術(shù)分析

時(shí)間：2014-10-31作者：東莞愛加真空科技有限公司瀏覽：102

　氮化鈦涂層是自PVD技術(shù)發(fā)明以來，較常見的一種涂層，具有較高的性價(jià)比，也是之前運(yùn)用的較廣泛的一種PVD涂層,它具有較高的薄膜硬度。

　　用磁控濺射方法沉積的氮化鈦沉積速度慢，表面顆粒小所以表面光滑，而且液滴等表面缺限少,但是表面硬度較低。

　　用磁控陰極弧的方法沉積的氮化鈦，沉積速度快，但表面顆粒大，所以表面光潔度較差，液滴等表面缺陷也較多，但是可以獲得較高的表面硬度。


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