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滑閥真空泵是由普通羅茨泵為主泵、滑閥真空泵為前級(jí)泵串聯(lián)組成的真空機(jī)組。通過真空繼電器或電接點(diǎn)壓力表,來實(shí)現(xiàn)羅茨泵滑閥泵的自動(dòng)啟閉,自動(dòng)過載保護(hù)。 整套機(jī)組安裝在一個(gè)機(jī)架上,配以管道、閥門、電器操作控制箱、冷卻水管系統(tǒng)。機(jī)組結(jié)構(gòu)緊湊,使用方便。 滑閥真空泵同旋片泵一樣,也是一種變?nèi)菔綒怏w傳輸泵,但是滑閥真空泵和2X旋片真空泵相比,耐用高出好幾倍。其和范圍和使用條件與旋片泵基本相同。 由于滑閥泵的旋
真空計(jì):真空計(jì)是真空鍍膜設(shè)備上的重要組成部分,它是檢測(cè)鍍膜機(jī)真空度的重要手段。 真空計(jì)根據(jù)其工作原理可以分為**真空計(jì)和相對(duì)真空計(jì),**真空計(jì)可以直接測(cè)量壓強(qiáng)的高低,相對(duì)真空計(jì)只能間接測(cè)量真空度。 本文重點(diǎn)介紹鍍膜機(jī)器上面常用到的以下幾個(gè)真空計(jì): 點(diǎn)阻真空計(jì)(又叫皮喇尼真空計(jì)):它主要由電熱絲、外殼和支架構(gòu)成,主要是根據(jù)在低壓下,氣體的熱傳導(dǎo)系數(shù)與壓強(qiáng)成正比的方式工作的。 上面開口處與被測(cè)真空系
1.兩種鍍膜原理不同: 電子束蒸發(fā)鍍膜:利用高能電子束轟擊靶材,使材料表面產(chǎn)生很高的溫度,由固態(tài)直接升華到氣態(tài),沉積到工件表面所形成的薄膜,主要運(yùn)用在光學(xué)方面(如:眼鏡片的增透膜,CCD鏡頭,光通訊方面等等) 磁控濺射鍍膜:高能離子轟擊靶材,使靶材表面原子飛逸出來的過程稱濺射,那么采用磁場(chǎng)控制后,濺射出來的原子或二次電子以輪擺線的形式被束縛在靶材表面,使得輝光維持而進(jìn)行濺射,主要運(yùn)用在裝飾方面(
Polycold 快速循環(huán)水汽深冷泵 (Fast Cycle Water Vapor Cryopump)的工作原理是依照麥斯納(Meissner)吸收原理。使水汽分子在低溫盤管(Cryocoil)的**低溫表面上凝結(jié),從而達(dá)到捕集水汽的目的。 A?冷凍機(jī)??B?冷媒傳送管???C?凍連接頭??&nbs
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