COMDEL射頻電源維修康戴爾高頻電源CLX2750

時間：2023-07-10

美國COMDEL電源維修常見型號包括：CLX2750；CLX2500；CLX-600H；CX600AS；CX-5000S；CX-3500S；CX-2500S；CV500；CDX2000等。

Comdel成立于1966年，總部設在馬薩諸塞州格洛斯特，為半導體，薄膜，光伏，平板和工業(yè)加熱行業(yè)設計和制造射頻和直流電源和過程儀器。產品包括射頻發(fā)生器，直流發(fā)電機，阻抗匹配網(wǎng)絡，多通道合成器和靜電卡盤電源等。

維修范圍：刻蝕、RIE、平行板、ICP、pecvd、射頻濺射、CVD 和PVD等系統(tǒng)，工業(yè)系統(tǒng)中感應加熱和電介質加熱設備的電源，烘干、塑化、硅晶體生長和平板顯示器領域應用電源，直流偏壓和硬鍍膜，信息設備(ITE)及輕工業(yè)系統(tǒng)、鍍膜設備。從事大功率射頻RF電源及匹配器維修，為太陽能光伏、半導體、液晶面板、鍍膜行業(yè)維修PVD、CVD、PECVD、MOCVD、ION IMP設備電源，包括直流、高壓、脈沖、微波、匹配器、RPSC、CHILLER射頻電源維修。

當濾波電容上無380VDC左右電壓時，說明PFC電路沒有正常工作，PFC模塊關鍵檢測腳為電源輸入腳VC，啟動腳Vstart/control，C/RT腳及V0腳。，測試一板上濾波電容上無380VDC電壓。VC，Vstart/control,C/RT波形以及V0波形均正常，測量場效應功率開關管無V0波形，由于FA5331(PFC)為貼片元件，機器用久后出現(xiàn)V0端與板之間虛焊，V0信號沒有送到場效應管。將V0端與板上焊點焊好，用萬用表測量濾波電容有380VDC電壓。當Vstart/control端為低電平時，PFC亦不能工作，則要檢測其端點與外部相連的有關電路。

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