TJ光學掩模板蒸鍍掩模板柔性掩膜激光切割精密加工

時間：2024-05-30

TJ光學掩模板蒸鍍掩模板柔性掩膜激光切割精密加工

光刻掩膜版（又稱光罩，英文為Mask Reticle），簡稱掩膜版，是微納加工技術常用的光刻工藝所使用的圖形母版。由不透明的遮光薄膜在透明基板上形成掩膜圖形結構，再通過過程將圖形信息轉移到產品基片上。

待加工的掩膜版由玻璃/石英基片、鉻層和光刻膠層構成。其圖形結構可通過制版工藝加工獲得，常用加工設備為直寫式光刻設備，如激光直寫光刻機、電子束光刻機等。

掩膜版應用十分廣泛，在涉及光刻工藝的領域都需要使用掩膜版，如IC（Integrated Circuit，集成電路）、FPD（Flat Panel Display，平板顯示器）、PCB（Printed Circuit Boards，印刷電路板）、MEMS（Micro Electro Mechanical Systems，微機電系統(tǒng)）等。

掩膜版的分類

透明基板

1、透明玻璃。石英玻璃（Quartz Glass）蘇打玻璃（Soda-lime Glass）低膨脹玻璃（Low Expansion Glass）

2、透明樹脂

遮光膜

（1）硬質遮光膜：鉻膜氧化鐵硅化鉬硅。

（2）乳膠。

材料厚度(公制):

0.03mm,0.05mm,0.08mm,0.06mm,0.1mm,0.12mm,0.15mm,0.18mm,0.2mm

產品特點:

激光加工線條均均，無毛剌，口

產品價格:

以材料材質、厚度、精度要求、量產數量綜合核定

加工能力:可大批量加工

樣品提供:

付費打樣，樣品內，快24小時出樣，量大可申請樣品

梁工

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