標(biāo)準(zhǔn)氣體、高純氣體、特種氣體…等14種分類你弄清了嗎?

           工業(yè)氣體在國家標(biāo)準(zhǔn)《常用危險化學(xué)品的分類及標(biāo)志》(GB13690-1992)中,通常被劃為第2類壓縮氣體和液化氣體。這類化學(xué)品系指壓縮、液化或加壓溶解的氣體。氣體經(jīng)加壓或降低溫度,可以使氣體分子間的距離大大縮小而被壓入鋼瓶中,這種氣體稱為壓縮氣體(亦稱為氣體, 如氧氣、、氬氣、等)。對壓縮氣體繼續(xù)加壓, 適當(dāng)降溫,壓縮氣體就會變成液體的,稱為液化氣體(如液氯、 液氨、液體等)。此外,還有一種性質(zhì)較為不穩(wěn)定的氣體,加壓后需溶于溶劑中儲存在鋼瓶內(nèi),這種氣體稱為溶解氣體(如溶解等)。

    具體來說工業(yè)氣體可分為以下14種:

    01特種氣體(Specialty gases) :

    指那些在特定領(lǐng)域中應(yīng)用的, 對氣體有特殊要求的純氣、高純氣或由高純單質(zhì)氣體配制的二元或多元混合氣。特種氣體門類繁多, 通常可區(qū)分為電子氣體、標(biāo)準(zhǔn)氣、環(huán)保氣、醫(yī)用氣、焊接氣、殺菌氣等, 廣泛用于電子、電力、石油化工、采礦、鋼鐵、有色金屬冶煉、熱力工程、生化、環(huán)境監(jiān)測、醫(yī)學(xué)研究及診斷、食品保鮮等領(lǐng)域。

    02標(biāo)準(zhǔn)氣體(Standard gases) :

    標(biāo)準(zhǔn)氣體屬于標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)。標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)是高度均勻的、良好穩(wěn)定和量值準(zhǔn)確的測定標(biāo)準(zhǔn), 它們具有復(fù)現(xiàn)、保存和傳遞量值的基本作用, 在物理、化學(xué)、生物與工程測量領(lǐng)域中用于校對( [準(zhǔn)測量儀器和測量過程, 評價測量方法的準(zhǔn)確度和檢測實驗室的檢測能力, 確定材料或產(chǎn)品的特性量值, 進(jìn)行量值仲裁等。大型廠、合成氨廠及其它石化企業(yè), 在裝置開車、停車和正常生產(chǎn)過程中需要幾十種純氣和幾+百種多組分標(biāo)準(zhǔn)混合氣, 用來校準(zhǔn)、定標(biāo)生產(chǎn)過程中使用的在線分析儀器和分析原料及產(chǎn)品質(zhì)量的儀器。標(biāo)準(zhǔn)氣還可用于環(huán)境監(jiān)測, 有毒的**物測量, 汽車排放氣測試, 天然氣BTU 測量, 液化校正標(biāo)準(zhǔn), **臨界流體工藝等。標(biāo)準(zhǔn)氣視氣體組分?jǐn)?shù)區(qū)分為二元、三元和多元標(biāo)準(zhǔn)氣體; 配氣準(zhǔn)度要求以配氣允差和分析允差來表征;比較通用的有SE2M I 配氣允差標(biāo)準(zhǔn), 但各公司均有企業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。組分的低濃度為10- 6級, 組分?jǐn)?shù)可多達(dá)20余種配制方法可采用重量法, 然后用色譜分析校核, 也可按標(biāo)準(zhǔn)傳遞程序進(jìn)行傳遞。

    03電子氣體(Electronic gases) :

    半導(dǎo)體工業(yè)用的氣體統(tǒng)稱電子氣體。按其門類可分為純氣、高純氣和半導(dǎo)體特殊材料氣體三大類。特殊材料氣體主要用于外延、摻雜和蝕刻工藝;高純氣體主要用作稀釋氣和運載氣。電子氣體是特種氣體的一個重要分支。電子氣體按純度等級和使用場合,可分為電子級、LSI(大規(guī)模集成電路) 級、VLSI (**大規(guī)模集成電路) 級和ULSI (特大規(guī)模集成電路)級。

    04外延氣體(Cpitaxial gases) :

    在仔細(xì)選擇的襯底上采用化學(xué)氣相淀積(CVD) 的方法生長一層或多層材料所用氣體稱為外延氣體。硅外延氣體有4 種, 即、二氯二硅、三氯硅和, 主要用于外延硅淀積, 多晶硅淀積, 淀積氧化硅膜, 淀積氮化硅膜, 太陽電池和其他光感受器的非晶硅膜淀積。外延生長是一種單晶材料淀積并生長在襯底表面上的過程。此外延層的電阻率往往與襯底不同。

    05蝕刻氣體(Etching gases) 

    蝕刻就是把基片上無光刻膠掩蔽的加工表面如氧化硅膜、金屬膜等蝕刻掉, 而使有光刻膠掩蔽的區(qū)域保存下來, 這樣便在基片表面得到所需要的成像圖形。蝕刻的基本要求是, 圖形邊緣整齊, 線條清晰, 圖形變換差小, 且對光刻膠膜及其掩蔽保護(hù)的表面無損傷和鉆蝕。蝕刻方式有濕法化學(xué)蝕刻和干法化學(xué)蝕刻。干法蝕刻所用氣體稱蝕刻氣體, 通常多為氟化物氣體, 例如四氟化碳、、、、三等。干法蝕刻由于蝕刻方向性強、工藝控制精確、方便、無脫膠現(xiàn)象、無基片損傷和沾污, 所以其應(yīng)用范圍日益廣泛。

    06摻雜氣體(Dopant Gases):

    在半導(dǎo)體器件和集成電路制造中, 將某種或某些雜質(zhì)摻入半導(dǎo)體材料內(nèi), 以使材料具有所需要的導(dǎo)電類型和一定的電阻率, 用來制造PN結(jié)、電阻、埋層等。摻雜工藝所用的氣體摻雜源被稱為摻雜氣體。主要包括砷烷、磷烷、三氟化磷、五氟化磷、三氟化砷、五氟化砷、和乙硼烷等。通常將摻雜源與運載氣體(如氬氣和) 在源柜中混合, 混合后氣流連續(xù)流入擴散爐內(nèi)環(huán)繞晶片四周, 在晶片表面沉積上化合物摻雜劑, 進(jìn)而與硅反應(yīng)生成摻雜金屬而徙動進(jìn)入硅。

    07熏蒸氣體(Sterilizing Gases) :

    具有殺菌作用的氣體稱熏蒸氣體。常用的氣體品種有環(huán)氧、磷烷、、溴甲醛、環(huán)氧等。其滅菌原理是利用烷化作用, 使微生物組織內(nèi)維持生命不可缺少的物質(zhì)惰化。經(jīng)常使用的是以不同比例配制的環(huán)氧和的混合氣, 根據(jù)用途不同, 環(huán)氧的含量可以是10%、20%和30%等。也可采用環(huán)氧和氟利昂12的混合氣,環(huán)氧與氟利昂11和氟利昂12的混合氣等。殺菌效果與各組分濃度、溫度、濕度、時間和壓力等因素有關(guān)。熏蒸氣體可以用于衛(wèi)生材料、醫(yī)療器具、化妝品原料、動物飼料、糧食、紙鈔、香辣

    08焊接保護(hù)氣體(Welding Gases):

    氣體保護(hù)焊由于具有焊接質(zhì)量好, 效率高, 易實現(xiàn)自動化等優(yōu)點而得以迅速發(fā)展。焊接保護(hù)氣體可以是單元氣體, 也有二元、三元混合氣。采用焊接保護(hù)氣的目的在于提高焊縫質(zhì)量, 減少焊縫加熱作用帶寬度, 避免材質(zhì)氧化。單元氣體有氬氣、, 二元混合氣有氬和氧, 氬和, 氬和氦, 氬和混合氣。三元混合氣有氦、氬、混合氣。應(yīng)用中視焊材不同選擇不同配比的焊接混合氣。

    09離子注入氣( Gases for IonImplantation):

    離子注入是把離子化的雜質(zhì), 例如P + 、B + 、As+加速到高能量狀態(tài),然后注入到預(yù)定的襯底上。離子注入技術(shù)在控制Vth(閾值電壓) 方面應(yīng)用得為廣泛。注入的雜質(zhì)量可通過測量離子束電流而求得。離子注入工藝所用氣體稱離子注入氣, 有磷系、硼系和砷系氣體。

    10非液化氣體(Nonliquefied Gases):

    壓縮氣體依據(jù)于一定壓力和溫度下在氣瓶中的物理狀態(tài)和沸點范圍可以區(qū)分為兩大類, 即液化氣體和非液化氣體。非液化氣體系指除溶解在溶液中的氣體之外, 在2111℃和罐裝壓力下完全是氣態(tài)的氣體。也可定義為在正常地面溫度和13789~17237kPa 壓力下不液化的氣體。

    11液化氣體( Liquefied Gases ):

    在2111℃和罐裝壓力下部分液化的氣體?;蚨x為在正常溫度和172142~17237kPa壓力下在氣瓶中液化的氣體。壓縮氣體(Compressed Gases)壓縮氣體是指在2111℃下, 在氣瓶中壓力**過27518kPa的任何氣體或混合物; 或與2111℃下的壓力無關(guān), 于5414℃下壓力**過717kPa 的任何氣體或混合物; 或于3718℃下氣體壓力**27518kPa的任何液體。

    12稀有氣體(Rare Gases):

    元素周期表后一族的六種惰性氣體中的任何一種氣體, 即氦、氖、氬、氪、、氡。**種氣體均可以空氣分離方法從空氣中提取。

    13低壓液化氣體(Low Pressure Liquefied Gases) :

    臨界溫度大于70℃的氣體。區(qū)分為不燃無毒和不燃有毒、酸性腐蝕性氣體; 可燃無毒和可燃有毒、酸性腐蝕性氣體; 易分解或聚合的可燃?xì)怏w。此類氣體在充裝時以及在允許的工作溫度下貯運和使用過程中均為液態(tài)。包括的氣體品種有一氟、二氟氯、二氟、二氟溴氯、三氟氯、四氟、五氟氯、、、氯、、光氣、氟化、溴化、二氧化、酰氟、二氧化氮、液壓、、、、、、1- 、、順- 、反- 2- 、2b、R 143a、、氯、二、氨、、、、、、、氯、、砷烷、1, 3—、氯、環(huán)氧、基、。

    14高壓液化氣體(High Pressure Liquefied Gases) :

    臨界溫度大于或等于-10℃且小于或等于70℃的氣體。區(qū)分為不燃無毒和不燃有毒氣體; 可燃無毒和自燃有毒氣體; 易分解或聚合的可燃?xì)怏w。此類氣體充裝時為液態(tài),但在允許的工作溫度下貯運和使用過程中其蒸汽壓隨溫度的升高而升高, **過臨界溫度時蒸發(fā)為氣體。所包括的氣體品種有一氧化二氮、、三、三氟氯、三氟、、、、氯化、、、1, 1- 、、磷烷、、乙硼烷。



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  • 詞條

    詞條說明

  • 鄭州高純氮廠家告訴你高純氮物理性質(zhì)是什么

    high purity nitrogen分子式:?N2性質(zhì):純度大于99.999%。無色無臭無味無毒的惰性氣體。相對密度ds(21.1℃,空氣=1)0.967。氣體密度1.153kg/m3(21.1℃,101.3kPa);液體密度808.5kg/m3(-195.8℃,101.3kPa)。相對分子質(zhì)量 28.013熔點 6*K,-210℃,-346oF沸點,195.6臨界溫度 126

  • 標(biāo)準(zhǔn)氣體適用范圍

    1、用于氣體產(chǎn)品質(zhì)量控制2、用于儀器儀表的檢定與校準(zhǔn)3、用于大氣環(huán)境污染監(jiān)測4、用于醫(yī)療衛(wèi)生及臨床化驗5、用于建筑家居環(huán)境監(jiān)測6、建立測量的溯源性7、保證測量結(jié)果準(zhǔn)確一致8、進(jìn)行量值的傳遞9、促進(jìn)測量技術(shù)和質(zhì)量監(jiān)督工作的發(fā)展制備方法:一、稱量法1、適用范圍:稱量法是**標(biāo)準(zhǔn)化組織推薦的方法,它只適用于組分之間、組分與氣瓶內(nèi)壁不發(fā)生反應(yīng)的氣體,以及在實驗條件下完全處于氣態(tài)的可凝結(jié)組分。2、所需設(shè)備配

  • 標(biāo)準(zhǔn)氣體注意事項

    1、氣體的飽和蒸氣壓及其他性能? ?要了解各組分的飽和蒸氣壓及其他性能,考虎是否會產(chǎn)生冷凝作用、標(biāo)準(zhǔn)氣體中組分與鋼瓶同僻壁材質(zhì)之間的作用、各組分間的反應(yīng)等。2、標(biāo)準(zhǔn)氣體中組分之間的反應(yīng)? ?標(biāo)準(zhǔn)氣體在制備之前,應(yīng)考慮標(biāo)準(zhǔn)氣體中各組分間是否發(fā)生化學(xué)反應(yīng)(即化學(xué)穩(wěn)定性問題),實際上必須搞清楚哪些氣體組分不能化學(xué)匹配,否則,制備出的標(biāo)準(zhǔn)氣體量值不準(zhǔn)確,甚至可能會發(fā)

  • 鄭州氦氣行情

    氦氣由于其密度小,安全是現(xiàn)在代替充氣球用氫氣的**替代品,又由于其**性和**性,價格相比氫氣要高出許多。、氦氣可作為火箭液體燃料的壓送劑和增壓劑,大量用于導(dǎo)彈、宇宙飛船和**音速飛機上。?[1]?2、氦用作冶煉及焊接時的保護(hù)氣體,這在造船以及飛機、宇宙飛船、火箭和武器的制造等方面非常重要。?[1]?3、氦氣有優(yōu)良的滲透性,?[3]?&

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