回收ITO靶材

時(shí)間：2022-06-15作者：韶關(guān)市運(yùn)田金屬材料有限公司瀏覽：183

一、金屬靶材為薄膜沉積**材料，廣泛用于平板顯 示器、半導(dǎo)體、光伏電池、記錄媒體等領(lǐng)域
（一）分類方式：按應(yīng)用可分為半導(dǎo)體靶材、平板顯示靶材、 太陽能電池靶材、記錄存儲(chǔ)靶材等
靶材按應(yīng)用可分為半導(dǎo)體靶材、平板顯示靶材、太陽能電池靶材、信息存儲(chǔ)靶材。靶材制備位于 產(chǎn)業(yè)鏈的中游，從產(chǎn)業(yè)鏈來看，靶材上游原材料材質(zhì)主要包括**屬、合金以及陶瓷化合物三類。下游應(yīng)用市場(chǎng)則較為廣泛，但整體來看主要集中在平板顯示、信息存儲(chǔ)、太陽能電池、半導(dǎo)體四 個(gè)領(lǐng)域，四大板塊約合占比 97%。
此外根據(jù)其形狀、材質(zhì)不同，濺射靶材也有多種分類方式：
1） 按形狀分類：可分為長(zhǎng)靶、方靶、圓靶和管靶。其中常見的靶材多為方靶、圓靶，均為實(shí)心 靶材。近年來，空心圓管型濺射靶材由于具有較高的回收利用率，也在國(guó)內(nèi)外得到了一定推 廣。據(jù)立坤鈦業(yè)官網(wǎng)相關(guān)信息介紹，在鍍膜作業(yè)中，圓環(huán)形的永磁體在靶材的表面產(chǎn)生的磁 場(chǎng)為環(huán)形，會(huì)發(fā)生不均勻沖蝕現(xiàn)象，濺射的薄膜厚度均勻性不佳，靶材的使用效率大約只有 20%～30%。目前，為了提高靶材的利用率，國(guó)內(nèi)外都在推廣可圍繞固定的條狀磁鐵組件旋轉(zhuǎn)的空心圓管型濺射靶材，此種靶材由于靶面 360°都可被均勻刻蝕，因而利用率可由通常 的 20%～30%提高到 75%～80%。
2）按材質(zhì)，可分為金屬靶材（**屬鋁、鈦、銅、鉭等）、合金靶材（鎳鉻合金、鎳鈷合金 等）、陶瓷化合物靶材（氧化物、硅化物、碳化物、硫化物等）。
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• 詞條

  詞條說明

• 鎢是熔點(diǎn)較高的難熔金屬

  鎢是一種稀有的金屬元素。鎢的硬度高，熔點(diǎn)高，常溫下不受空氣侵蝕。鎢是一種銀白色金屬，外形似鋼。鎢的熔點(diǎn)高，蒸氣壓很低，蒸發(fā)速度也較小。鎢的化學(xué)性質(zhì)很穩(wěn)定，常溫時(shí)不跟空氣和水反應(yīng)，不加熱時(shí)，任何濃度的鹽酸、硫酸、硝酸、氫氟酸以及王水對(duì)鎢都不起作用，當(dāng)溫度升至80°-100°C 時(shí)，上述各種酸中，除氫氟酸外，其它的酸對(duì)鎢發(fā)生微弱作用。 鎢是熔點(diǎn)較高的難熔金屬。一般熔點(diǎn)**1650℃并有一定儲(chǔ)量的金屬以

• 銥的多種回收方法

  金屬銥二次資源的分離回收方法主要分為火法與濕法。固相中金屬銥主要用火法富集，其方法有:感應(yīng)熔化法、焚燒、焙燒、微波法、還原法等;而液相中銥離子分離主要通過濕法獲取，其主要方法有:離子交換法、化學(xué)沉淀法、電滲析法、氧化蒸餾法、萃取法和吸附法等。 感應(yīng)熔化法 感應(yīng)熔化法是一種在真空條件下進(jìn)行金屬與合金熔煉的特種熔煉技術(shù)。可以使得幾種可選擇的金屬或合金與銥渣熔合，然后通過酸浸或堿浸便能得到純銥粉。 氧化

• 銠回收工藝研究 回收銠廢料

  貴金屬銠屬于鉑族元素的一種，在多相、均相絡(luò)合催化反應(yīng)中得到了廣泛應(yīng)用，屬于催化劑**金屬中的一種。但因其溶解難度大、化學(xué)惰性強(qiáng)，難以進(jìn)行再次加工。針對(duì)現(xiàn)行廢貴金屬催化劑銠的回收工藝進(jìn)行展開綜述 銠作為鉑族金屬的重要一員，具有其*特的物理特性和化學(xué)特性，因?yàn)槠涓叽呋钚砸约岸噙x擇性，在石油工業(yè)催化劑、汽車尾氣凈化器、催化加氫等方面得到了廣泛應(yīng)用，因此在市場(chǎng)中具有較高的需求量。但是銠多存在于地殼中，含

• 未來銥回收的較佳方法是生物法

  鉑族金屬銥作為地球地殼中較稀有的元素之一，現(xiàn)銥礦產(chǎn)資源無法滿足市場(chǎng)需求。因此從二次資源回收銥可擴(kuò)大銥的來源，調(diào)節(jié)銥的供需矛盾。 國(guó)內(nèi)在銥二次資源回收方面主要采用物理、化學(xué)法。感應(yīng)熔化法、氧化蒸餾法等由于操作復(fù)雜、步驟繁瑣，能耗高、耗時(shí)長(zhǎng)，藥品消耗多，且回收效率不高、污染環(huán)境、可持續(xù)性也不強(qiáng)，現(xiàn)今應(yīng)用較少?；瘜W(xué)沉淀法、萃取法、吸附法等方法簡(jiǎn)便、周期短、符合環(huán)保要求，目前應(yīng)用較多，不過其對(duì)料液離子濃度