陶瓷靶材

時(shí)間：2022-09-20作者：東莞市鼎偉新材料有限公司瀏覽：1587

陶瓷靶材是比較脆的靶材,通常陶瓷靶材都會(huì)綁定背板一起使用.背板除了在濺射過(guò)程中可支撐陶瓷靶材,還可以在濺射過(guò)程中起到熱傳遞的作用.陶瓷靶材的種類很多,應(yīng)用范圍廣泛,主要用于微電子領(lǐng)域,顯示器用,存儲(chǔ)等領(lǐng)域.陶瓷靶材作為非金屬薄膜產(chǎn)業(yè)發(fā)展的基礎(chǔ)材料,已得到**的發(fā)展.




陶瓷靶材的種類及各自應(yīng)用

按應(yīng)用來(lái)分,可分為半導(dǎo)體關(guān)聯(lián)陶瓷靶材、顯示陶瓷靶材、磁記錄陶瓷靶材、光記錄陶瓷靶材、**導(dǎo)陶瓷靶材、巨磁電阻陶瓷靶材等.

半導(dǎo)體關(guān)聯(lián)陶瓷靶材(HfO,SiO,Si3N4,MoSi,TaSi,WSi,TiSi,PLZT,ITO,主要應(yīng)用于柵較電介質(zhì)膜.飩化膜,擴(kuò)散阻擋膜,電容器絕緣膜,透明導(dǎo)電膜;

顯示陶瓷靶材 ZnS—Mn,ZnS-Tb,ZnS-Sm,CaS-Eu,SrS-Ce,Si3N4,MgO ,主要應(yīng)用于電致發(fā)光薄膜發(fā)光層,電致發(fā)光薄膜絕緣層, 磁盤等;

磁記錄陶瓷靶材 Si3N4 ,主要應(yīng)用于磁頭,磁光盤(MO)保護(hù);

光記錄陶瓷耙材 Si3N4, 主要應(yīng)用于光盤保護(hù)膜;

**導(dǎo)陶瓷靶材 YbaCuO, BiSrCaCuO ,主要應(yīng)用于**導(dǎo)薄膜;

巨磁電阻陶瓷靶材, 主要應(yīng)用于薄膜太陽(yáng)能電池窗;

其它應(yīng)用靶材 In?O?，LiNbO?， BaTiO?, PZT. ZnO ，主要應(yīng)用于太陽(yáng)能電池，壓電薄膜

按化學(xué)組成,可分為氧化物陶瓷靶材、硅化物陶瓷靶材、氮化物陶瓷靶材、氟化物陶瓷靶材和硫化物陶瓷靶材等.其中平面顯示ITO陶瓷靶材國(guó)內(nèi)已廣泛生產(chǎn)應(yīng)用.高介電絕緣膜用陶瓷靶材和巨磁電阻陶瓷靶材具有廣闊的應(yīng)用前景.

例：氧化物陶瓷濺射靶是高級(jí)陶瓷濺射靶中較常見(jiàn)的靶。氧化物陶瓷可以通過(guò)在高溫下燒結(jié)而制成，其中一種或多種氧化物為主要主要成分，而其他次要氧化物為添加劑。它們分為簡(jiǎn)單氧化物陶瓷和復(fù)雜氧化物陶瓷。這種類型的常見(jiàn)濺射靶材包括氧化鋁（Al2O3），氧化鎂 （MgO），氧化鈹（BeO），氧化鋯 （ZrO2）等。大多數(shù)氧化物陶瓷具有高熔點(diǎn)，出色的絕緣性，耐熱強(qiáng)度，抗氧化劑和腐蝕性能。因此，它們可以長(zhǎng)時(shí)間暴露在高溫和氧化環(huán)境中，值得在工程領(lǐng)域中廣泛應(yīng)用。


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• 詞條

  詞條說(shuō)明

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  肇慶陶瓷靶材 肇慶陶瓷靶材是一種特殊的材料，在薄膜制備技術(shù)中發(fā)揮著重要作用。由高純度的陶瓷材料構(gòu)成，肇慶陶瓷靶材具有高熔點(diǎn)、良好的化學(xué)穩(wěn)定性和特殊的光學(xué)特性。相較于傳統(tǒng)的金屬靶材，肇慶陶瓷靶材能夠提供更多的功能性和特殊性能，以滿足特定應(yīng)用的需求。 在半導(dǎo)體、光電子、涂料、化學(xué)材料等行業(yè)中，陶瓷靶材都有著廣泛的應(yīng)用。在半導(dǎo)體行業(yè)，肇慶陶瓷靶材被用于制造薄膜晶體管，其質(zhì)量對(duì)晶體管的性能和穩(wěn)定性有直接影

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