渦輪分子泵,真空技術(shù),帕納光電

時(shí)間：2015-09-07

作者：廣州帕納光電科技有限公司

詞條
詞條說(shuō)明
渦輪分子泵,真空技術(shù),帕納光電
廣州帕納光電科技有限公司,成功維修應(yīng)用于掃描電鏡真空系統(tǒng)分子泵,VARIAN TV301,BOC EDWARDS IEXT455 ,真空學(xué)術(shù)研究,真空半導(dǎo)體分子泵,真空離子源掃描電鏡真空系統(tǒng)--渦輪分子泵一、渦輪分子泵的結(jié)構(gòu)原理利用高速旋轉(zhuǎn)的動(dòng)葉輪將動(dòng)量傳給氣體分子，使氣體產(chǎn)生定向流動(dòng)而抽氣的真空泵。渦輪分子泵的優(yōu)點(diǎn)是啟動(dòng)快，能抗各種射線的照射，耐大氣沖擊，無(wú)氣體存儲(chǔ)和解吸效應(yīng)，無(wú)油蒸氣污染

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