Aerotech空氣軸承直驅(qū)旋轉(zhuǎn)平臺

時間：2022-08-31作者：天津瑞利光電科技有限公司瀏覽：66

天津瑞利光電科技有限公司優(yōu)勢經(jīng)銷美國Aerotech空氣軸承直驅(qū)旋轉(zhuǎn)平臺ABRS

產(chǎn)品型號：ABRS150MP

關(guān)鍵字：AEROTECH空氣軸承直驅(qū)旋轉(zhuǎn)平臺ABRS

關(guān)鍵字描述：Aerotech的ABRS系列旋轉(zhuǎn)氣浮載物臺以**薄的外形提供了角度定位，速度穩(wěn)定性和誤差運動性能。

產(chǎn)品介紹：

直接驅(qū)動，無槽，無刷伺服電機

零齒槽電機， 速度穩(wěn)定性

 誤差運動和擺動性能

直聯(lián)式高精度旋轉(zhuǎn)編碼器

薄型平面設(shè)計

沒**械接觸

Aerotech的ABRS系列旋轉(zhuǎn)氣浮載物臺以**薄的外形提供了角度定位，速度穩(wěn)定性和誤差運動性能。ABRS旨在滿足晶圓檢查，高精度計量，X射線衍射系統(tǒng)，光學(xué)檢查和制造以及MEMS /納米技術(shù)設(shè)備制造的嚴(yán)格要求。

緊湊包裝

ABRS系列直接驅(qū)動旋轉(zhuǎn)平臺的設(shè)計已經(jīng)過優(yōu)化，可大程度地減少平臺高度。平臺的低矮外形降低了系統(tǒng)的有效工作高度，從而減少了與“堆積”有關(guān)的錯誤。除了較低的總高度外，ABRS系列還提供了一個通孔，可用于產(chǎn)品直通，激光束傳輸，電纜間隙或特定應(yīng)用的要求。

機械設(shè)計

ABRS設(shè)計具有大的空氣軸承表面，具有很高的剛度和承載能力，不僅產(chǎn)生 軸向和徑向誤差運動，而且產(chǎn)生 的傾斜誤差運動。所產(chǎn)生的面誤差運動明顯**其他旋轉(zhuǎn)式空氣軸承工作臺和主軸， 受益于需要 平面性能的應(yīng)用。

無刷直驅(qū)

為了較好的定位性能，ABRS系列采用了Aerotech的S系列無槽無刷電機。電機采用磁路設(shè)計，可產(chǎn)生高扭矩輸出，而產(chǎn)生的熱量 少。無槽設(shè)計本質(zhì)上是零齒槽和無轉(zhuǎn)矩紋波。這使得ABRS位移臺非常適合需要低速或高速掃描速度的應(yīng)用。

準(zhǔn)確定位

光學(xué)編碼器是ABRS的標(biāo)準(zhǔn)配置。與Aerotech的反饋乘法器和控件配合使用時，分辨率可達(dá)到<0.03弧秒。

定制設(shè)計

定制版本的ABRS可用于費率表和慣性制導(dǎo)試驗臺應(yīng)用。

參數(shù)：

寬度：150 mm

桌面直徑：128.1 mm

高度：80 mm

孔徑：8 mm

總行程：360°連續(xù)

總線電壓：80 VDC

基本編碼器分辨率：3600行/轉(zhuǎn)

轉(zhuǎn)速：max.300 rpm

精度：±3角秒

雙向重復(fù)性：<2弧秒

負(fù)荷

軸向：8 kg

徑向：4 kg

傾斜：3 N-m

軸向誤差運動（同步）：<175 nm

徑向誤差運動（同步）：<450 nm

傾斜誤差運動（同步）：<9.7 μrad（<2.0弧秒）

軸向誤差運動（異步）：<20 nm

徑向誤差運動（異步）：<20 nm

傾斜誤差運動（異步）：<0.4 μrad（<0.08弧秒）

工作壓力：80 psig（5.5 bar）+ 0 psig（0.0 bar）/-10 psig（0.7 bar）

空氣消耗：<56.6 SLPM（<2 SCFM）

材料：鋁

表面：硬涂層（62洛氏硬度）

慣性卸載：3850 kg-mm2

總質(zhì)量：4.8公斤

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