INTELLIDRIVES開(kāi)放式 XY 旋轉(zhuǎn)平臺(tái)XY-OF-UL-200X200+ACR160UT

時(shí)間：2022-08-30作者：天津瑞利光電科技有限公司瀏覽：55

天津瑞利光電科技有限公司優(yōu)勢(shì)經(jīng)銷(xiāo)INTELLIDRIVES開(kāi)放式 XY 旋轉(zhuǎn)平臺(tái)XY-OF-UL-200X200+ACR160UT

產(chǎn)品型號(hào)：XY-OF-UL-200X200+ACR160UT

產(chǎn)品介紹

 

集成系統(tǒng)將線(xiàn)性或 XY 平臺(tái)與轉(zhuǎn)臺(tái)相結(jié)合，提供交鑰匙解決方案。 平臺(tái)可配備直接驅(qū)動(dòng)直線(xiàn)電機(jī)或基于滾珠絲杠的機(jī)械裝置。

 

性能特點(diǎn)

 

開(kāi)放式 XY 旋轉(zhuǎn)平臺(tái)設(shè)計(jì)用于半導(dǎo)體制造行業(yè)中的晶圓處理和許多其他自動(dòng)化定位應(yīng)用。 位于單元側(cè)面的 XY 驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)和大型中心通孔轉(zhuǎn)臺(tái)提供了清晰通暢的晶圓訪(fǎng)問(wèn)。

 

技術(shù)參數(shù)

 

XY臺(tái)：XY-OF-UL-200x200

旋轉(zhuǎn)臺(tái)：ACR-160UT

電機(jī)類(lèi)型：無(wú)刷伺服電機(jī)/編碼器（標(biāo)準(zhǔn)）

直線(xiàn)伺服電機(jī)（選件）

XY行程：200 x 200 mm

中心孔徑：直徑160 mm

分辨率（線(xiàn)性）：1 micron（注 1,2）

2.5 micron（注3）

分辨率（旋轉(zhuǎn)）：1.4 arc-sec

重復(fù)性（線(xiàn)性）：5 micron（注3）

1 micron（注 1,2）

重復(fù)性（旋轉(zhuǎn)）： 2 arc-sec

速度：400mm/sec（注 3）

800mm/sec（注2）

負(fù)載重量： 30 kg

載物臺(tái)重量：16 kg

（注1）帶線(xiàn)性編碼器（可選）

（注2）直線(xiàn)伺服電機(jī)（可選）

（注 3）滾珠絲杠 10 mm 導(dǎo)程，無(wú)刷伺服驅(qū)動(dòng)

 


天津瑞利光電科技有限公司專(zhuān)注于激光器,光學(xué)檢測(cè)設(shè)備,精密定位及光學(xué)平臺(tái)等

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