德國ATL Lasertechnik準分子激光器~ATLEX-500-I

時間：2022-08-10

作者：天津瑞利光電科技有限公司

天津瑞利光電科技有限公司優(yōu)勢經銷德國ATL Lasertechnik準分子激光器ATLEX-500-I

產品型號：ATLEX-500-I

關鍵字：ATL Lasertechnik準分子激光器ATLEX-500-I

關鍵字描述：ATLEX-S系列激光是一種非常緊湊的紫外光源，專為中低占空比應用而設計。

產品介紹：

軟電暈預電離

高壓固態(tài)脈沖發(fā)生器

激光頭體積<3l

TMC（全金屬陶瓷）容器

集成真空泵和鹵素過濾器

風冷/可選液冷，主動熱管理

RS-485，RS232，USB和光纖接口，用于系統(tǒng)集成

可沖洗光學支架

能量穩(wěn)定模式

新一代緊湊型風冷，高重復頻率的準分子激光器，專為中低占空比應用而設計。

參數：

氣體介質	F2	ArF	KrF	XeCl	XeF
波長 nm	157	193	248	308	351
高壓開關技術	固態(tài)開關
重復率max. Hz	1	10	15	8	7
脈沖能量max. mJ	0.5	4.0	6.5	3.0	2.5
平均功率max. W	500
脈沖持續(xù)時間 ns	5-8
光束尺寸（V x H） mm	4 x 6
光束發(fā)散角（V x H）mrad	1 x 2
能量穩(wěn)定性（標準偏差）%	< 3
尺寸（長x寬x高）mm	540 x 470 x 370
重量 kg	60
冷卻	冷卻空氣/可選液體
電源要求	230 VAC / 6,3 A / 1相/ 50-60 Hz

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詞條說明
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