3軸機械臂_全軸采用AC伺服電機滿足高速搬送

    3軸機械臂_全軸采用AC伺服電機滿足高速搬送
    
    
    采用AC伺服電機的3軸機械臂特點: 
    **潔凈無塵間用300mm晶圓對應(yīng)MCR3000C系列
    適用于半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備內(nèi)部,檢測設(shè)備等的晶圓搬運
    全軸采用AC伺服電機滿足高速搬送的需求
    比MHR系列具有較好的性價比優(yōu)勢
    機械手臂標(biāo)準(zhǔn)臂長:160mm, 200mm
    適應(yīng)設(shè)備需求可以選擇底座固定方式,或者法蘭固定方式
    配備動作監(jiān)視器
    控制通訊方式:RS232C及并口I/O方式
    全軸采用**值編碼器規(guī)格的AC伺服電機
    S曲線加減速控制方式能夠高速,高精度地搬運半導(dǎo)體晶圓
    晶圓固定方式:真空吸附式,下托式,邊緣夾持式,伯努利非接觸式
    手指材質(zhì):CFRP(碳纖維),鋁合金,高純度陶瓷等多種可選材質(zhì)
    可以針對被搬運物體種類,設(shè)備布局等要求提供較優(yōu)的手指
    
    
    
    
    如需詳細(xì)產(chǎn)品參數(shù) 請聯(lián)系我們衡/wafer_transfer_robot/mcr3160c.htm
    
    
    
    3軸機械臂_全軸采用AC伺服電機的相關(guān)產(chǎn)品:
    衡鵬供應(yīng)
    4軸圓柱坐標(biāo)潔凈機械手臂/5軸真空水平多關(guān)節(jié)型潔凈機械手臂
    

    上海衡鵬實業(yè)有限公司專注于錫膏,錫膏粘度計,波峰焊等

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