【半導(dǎo)體】手動(dòng)晶圓切割貼膜機(jī)STK-710 上海衡鵬

時(shí)間：2021-04-14作者：上海衡鵬實(shí)業(yè)有限公司瀏覽：50

【半導(dǎo)體】手動(dòng)晶圓切割貼膜機(jī)STK-710 上海衡鵬
——貼膜機(jī)是桌上型/適用于 4”& 5”& 6”& 8”晶圓/操作簡(jiǎn)便。



手動(dòng)晶圓切割貼膜機(jī)STK-710規(guī)格參數(shù)：
晶圓尺寸：4”,5”,6”&8”晶圓；
厚度：150 ~750 微米；
晶圓種類(lèi)：硅、砷化鎵或其它材料；
                單邊,雙邊，V 型缺口
膜種類(lèi)：藍(lán)膜或者 UV 膜；
             寬度：210~300 毫米；
             長(zhǎng)度：100 米；
             厚度：0.05~0.2 毫米；
晶圓承載環(huán)：6”DISCO 或者 K&S 標(biāo)準(zhǔn)；
                   8”DISCO 或者 K&S 標(biāo)準(zhǔn)；
                   客戶(hù)制定標(biāo)準(zhǔn)；
貼膜原理：防靜電滾輪貼膜；
晶圓臺(tái)盤(pán)：通用（一體式）特氟隆防靜電涂層接觸式臺(tái)盤(pán)；或硅膠臺(tái)盤(pán)；或多孔金屬臺(tái)盤(pán)；或陶瓷臺(tái)盤(pán)；
裝卸方式：晶圓/承載環(huán)手動(dòng)放置與取出；
防靜電控制：防靜電特氟隆涂層晶圓臺(tái)盤(pán)/防靜電貼膜滾輪/除靜電離子發(fā)生器；
切割系統(tǒng)：手動(dòng)軌跡式圓切刀和直切刀；
晶圓定位：通用標(biāo)線／彈簧定位銷(xiāo)；
控制單元：基于 PLC 控制，并配有 5.7”觸摸屏；
安全防護(hù)：配置緊急停機(jī)按鈕；
電源電壓：?jiǎn)蜗嘟涣麟?220V，6A； 
壓縮空氣：5 公斤清潔干燥壓縮空氣,流量每分鐘 80 升/分鐘；
機(jī)器外殼：白色噴塑金屬外殼；
體積：560 毫米(寬)x880 毫米(深)x500 毫米(高)； 
凈重：80公斤；



手動(dòng)晶圓切割貼膜機(jī)性能：
晶圓收益：≥99.9%； 
貼膜質(zhì)量：沒(méi)有氣泡（不包括灰塵顆粒氣泡）；
每小時(shí)產(chǎn)能：≥ 80 片晶圓；
更換產(chǎn)品時(shí)間：≤ 5 分鐘；


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