真空壓力表的真空度分析

時間：2020-01-05作者：南方泰科微電子(中國香港)有限公司瀏覽：1125

一、真空度

真空度，英文名稱：vacuum degree或者degree of vacuum它有如下幾種定義：

定義1、以百分?jǐn)?shù)表示的真空與大氣壓力的比值。所屬學(xué)科：電力（一級學(xué)科）；汽輪機(jī)、燃?xì)廨啓C(jī)（二級學(xué)科）。

定義2、真空度簡單講就是真空的程度。是真空泵、微型真空泵、微型氣泵、微型抽氣泵、微型抽氣打氣泵等抽真空設(shè)備的主要參數(shù)。那什么是真空？是指在給定的空間內(nèi)，壓強(qiáng)**101325帕斯卡(也即一個標(biāo)準(zhǔn)大氣壓強(qiáng)約101KPa)的氣體狀態(tài)。在真空狀態(tài)下，氣體的稀薄程度通常用氣體的壓力值來表示，顯然，該壓力值越小則表示氣體越稀薄。

定義3、表示真空狀態(tài)下氣體的稀薄程度，通常用壓力值來表示。所屬學(xué)科：機(jī)械工程（一級學(xué)科）；實驗室儀器和裝置（二級學(xué)科）；真空獲得儀器與裝置（三級學(xué)科）。真空度的高低表示出真空狀態(tài)下氣體的少與多。真空度高表示真空度“好”，氣體也就越少越稀??；真空度低表示真空度“差”，那就表示真空狀態(tài)下氣體相對較多。如果所測設(shè)備內(nèi)的壓強(qiáng)**大氣壓強(qiáng)，這時就需要一個測量低壓強(qiáng)的真空表。從真空表所讀取的數(shù)值就是真空度。真空度=大氣壓強(qiáng)—**壓強(qiáng)（**壓強(qiáng)是真空度標(biāo)識方法的一種，下文會有詳細(xì)介紹。）

定義4、真空度是指一個設(shè)備空間內(nèi)氣體分子數(shù)的密度。它比標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下(一個大氣壓101325pa)小。決定真空度大小有兩個因素：一個是真空泵本身能達(dá)到的極限真空度和抽速，另一個就是整個系統(tǒng)的泄漏量。系統(tǒng)的泄漏量，取決于空氣的濕度和溫度。濕度通常是指氣態(tài)水分子的多少?？諝庵谐说脱跻酝?，還有很多其他氣體，水分就是其中之一，所以通常來講濕度越大真空度也就越小。這樣空氣濕度大抽真空也就不容易。溫度這項，由于任何物質(zhì)由固態(tài)或液態(tài)轉(zhuǎn)化為氣態(tài)都需要能量，所以氣溫越高，分子運(yùn)動越活躍，越容易將其抽出。所以結(jié)論是大氣的溫度較高設(shè)備內(nèi)氣體濕度小，那么抽真空效果必然會好一點(diǎn)。

二、真空度的標(biāo)識方法和換算

1、對于真空度的標(biāo)識通常有兩種方法：

**種方法是用“**壓力”或者“**真空度”（即比“理論真空”高多少壓力）來標(biāo)識。在實際情況中，真空泵的**壓力值介于0～101.325KPa之間。**壓力值需要用**壓力儀表測量，在20℃、海拔高度＝0的地方，用于測量真空度的儀表(**真空表)的初始值為101.325KPa(即一個標(biāo)準(zhǔn)大氣壓)。

*二種方法是用“相對壓力”或者“相對真空度”(即比“大氣壓”低多少壓力)來標(biāo)識。"相對真空度"是指被測對象的壓力與測量地點(diǎn)大氣壓的差值。用普通真空表測量。在沒有真空的狀態(tài)下(即常壓時)，表的初始值為0。當(dāng)測量真空時，它的值介于0到－101.325KPa（一般用負(fù)數(shù)表示）之間。比如，有一款微型真空泵PH2506B測量值為－75KPa，則表示泵可以抽到比測量地點(diǎn)的大氣壓低75KPa的真空狀態(tài)。

2、相對真空度和**真空度的換算

**真空行業(yè)通用的真空度，也是較科學(xué)的是用**壓力標(biāo)識；指得是“極限真空、**真空度、**壓力”，但“相對真空度”(相對壓力、真空表表壓、負(fù)壓)由于測量的方法簡便、測量儀器非常普遍、容易買到且價格便宜，所以也會有廣泛應(yīng)用。理論上二者是可以相互換算的，兩者換算方法如下：

相對真空度=**真空度(**壓力)-測量地點(diǎn)的氣壓

一個標(biāo)準(zhǔn)大氣壓1atm=101325Pa=101.325kPa=0.101325MPa≈0.1MPa單圈彈簧管式壓力表（比如Y—100）測量的是相對壓力，指針是順時針變化，起始點(diǎn)0表示一個大氣壓0.1MPa，比如指示為1 MPa，表示比大氣壓高1 MPa，**壓力應(yīng)是1.1MPa。單圈彈簧管式真空表（比如Z—100）測量的也是相對壓力，指針是逆時針變化，起始點(diǎn)0表示一個大氣壓0.1MPa，若指示數(shù)為Px（應(yīng)是負(fù)值），**壓力P=Px＋0.1MPa。比如，指示數(shù)為Px=－0.02MPa=－20kPa，**壓力P=Px＋0.1MPa=80 kPa。指示數(shù)為Px=－0.04MPa=－40kPa，**壓力P=Px＋0.1MPa=60 kPa。指示數(shù)為Px=－0.06MPa=－60kPa，**壓力P=Px＋0.1MPa=40 kPa。指示數(shù)為Px=－0.08MPa=－80kPa，**壓力P=Px＋0.1MPa=20 kPa。

相對真空壓力－0.1MPa，實際應(yīng)是－0.101325MPa，相當(dāng)于**壓力為0，這是不可能達(dá)到的，目前能達(dá)到的較高真空度大約為10^（－12）Pa。


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