電子無塵車間檢測流程

時間：2021-03-25作者：廣州市微生物研究所集團股份有限公司瀏覽：150

電子無塵車間三方潔凈室檢測檢測:

一、風速風量換氣次數(shù)

無塵潔凈車間、潔凈區(qū)的潔凈度主要是靠送入足夠量的潔凈空氣，以排替、稀釋室內(nèi)產(chǎn)生的顆粒污染物來實現(xiàn)的。為此，測定無塵潔凈車間或潔凈設施的送風量、平均風速、送風均勻性、氣流流向及流型等項目十分必要。

單向流主要是依靠潔凈氣流推擠、排替室內(nèi)、區(qū)內(nèi)的污染空氣以維持室內(nèi)、區(qū)內(nèi)的潔凈度。因此，其送風斷面風速及均勻性是影響潔凈度的重要參數(shù)。較高的、較均勻的斷面風速能較快、較有效地排除室內(nèi)工藝過程產(chǎn)生的污染物，因此它們是主要關注的檢測項目。

非單向流主要是靠送入的潔凈空氣來沖淡與稀釋室內(nèi)、區(qū)內(nèi)的污染物以維持其潔凈度。因此，換氣次數(shù)越大，氣流流型合理，稀釋效果越顯著，潔凈度也相應提高。所以非單相流無塵潔凈車間、潔凈區(qū)的送風量及相應的換氣次數(shù)，是主要關注的氣流測試項目。

為了獲得可重復的讀數(shù)，記錄各測點風速的時間平均值。

換氣次數(shù)：根據(jù)無塵潔凈車間總風量除以法凈室的容積求得

二、溫濕度

無塵潔凈車間或潔凈設施溫、濕度測定，通常分為兩個檔次：一般測試和綜合測試。個檔次適用于處于空態(tài)的交竣驗收測試，二個檔次適用于靜態(tài)或動態(tài)的綜合性能測試。這類測試適用于對溫度、濕度性能要求比較嚴格的場合。

本檢測在氣流均勻性檢測之后和空調(diào)系統(tǒng)調(diào)整之后進行。進行這項檢測時，空調(diào)系統(tǒng)已經(jīng)充分運轉，各項狀況已經(jīng)穩(wěn)定。每個濕度控制區(qū)至少設置一個濕度傳感器，并且給傳感器充分的穩(wěn)定時間。所做測量應適合實際使用的目的，待傳感器穩(wěn)定之后才開始測量，測量時間不少于5分鐘。

三、壓差

這項檢測的目的是驗證完工設施與周圍環(huán)境之間、設施內(nèi)各空間之間保持規(guī)定壓差的能力。這項檢測適用于所有3種占用狀態(tài)。需要定期進行這項檢測。

壓差的測試應在所有的門都關閉的條件下，由高壓向低壓、由平面布置上與外界遠的里間房間開始，依次向外測試;有孔洞相通的不同等級相鄰的無塵潔凈車間(區(qū))，其洞口處宜有合理的氣流流向等等。

1.壓差檢測要求：

1) 靜壓差的測定要求在潔凈區(qū)內(nèi)的所有門全部關閉情況下進行。

2) 在潔凈平面上應從潔凈度由高到低的順序依次進行，一直檢測到直通室外的房間。

3) 測管口設在室內(nèi)沒有氣流影響的任何地方均可，測管口面與氣流流線平行。

4) 所測量記錄的數(shù)據(jù)應精確到 1.0Pa。

2.壓差檢測步驟：

1) 先關閉所有的門。

2) 用微差壓計測量各無塵潔凈車間之間、無塵潔凈車間走廊之間、走廊與外界之間的壓差。

3) 記錄所有數(shù)據(jù)。

3.壓差標準要求

按照無塵潔凈車間設計或工藝要求決定維持被測無塵潔凈車間的正壓或負壓值。

1) 不同級別的無塵潔凈車間或潔凈區(qū)與非無塵潔凈車間(區(qū))之間的靜壓差，應不小于5Pa。

2) 無塵潔凈車間(區(qū))與室外的靜壓差，不應小于 10Pa。

3) 對于空氣潔凈度等級嚴于 5 級(100 級)的單向流無塵潔凈車間在開門時，門內(nèi) 0.6m 處的室內(nèi)工作面含塵濃度應不大于相應級別的含塵濃度限值。

4) 若達不到以上標準的要求，應重新調(diào)整新風量、排風量、至合格為止。


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• 詞條

  詞條說明

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