怎樣檢測(cè)離子風(fēng)機(jī)性能的好壞?離子風(fēng)機(jī)都有一個(gè)平衡電壓,這個(gè)平衡電壓是利用離子風(fēng)機(jī)測(cè)試儀。平衡電壓是離子風(fēng)機(jī)的一個(gè)很重要的性能!它反映了離子風(fēng)機(jī)工作時(shí)候會(huì)給其作用物體帶來(lái)的靜電危害,也就是會(huì)在這個(gè)物體上產(chǎn)生的靜電壓。如果這個(gè)電壓不**過(guò)ESD敏感器件的抗靜電能力,就是安全的。目前的離子風(fēng)機(jī)的平衡電壓可以做到只有幾伏,因此對(duì)于多數(shù)情況來(lái)說(shuō),都是安全的。
帶電體上的靜電不足以用來(lái)中和離子風(fēng)機(jī)產(chǎn)生的靜電!也就是說(shuō)帶電體上的靜電被離子風(fēng)機(jī)完全中和了,此后離子風(fēng)機(jī)生產(chǎn)的正負(fù)離子相對(duì)來(lái)說(shuō)應(yīng)該是平衡的了(不考慮平衡電壓的情況了,因?yàn)檫@個(gè)電壓對(duì)產(chǎn)品是安全的),相對(duì)來(lái)說(shuō),正負(fù)離子同時(shí)作用到物體(就算是交流離子風(fēng)機(jī)和脈沖直流離子風(fēng)機(jī),正負(fù)離子交替產(chǎn)生的頻率為60hz,也可以認(rèn)為是同時(shí)作用了),此時(shí)物體就不會(huì)帶靜電了。就不會(huì)出現(xiàn)導(dǎo)致敏感器件破壞的電壓了。
當(dāng)然,此時(shí)不是**的0V,應(yīng)該有一個(gè)相對(duì)較低的電壓在物體上,這個(gè)值應(yīng)該小于平衡電壓。在可接受的范圍內(nèi),是安全的!因此在選擇離子風(fēng)機(jī)的時(shí)候,平衡電壓是一個(gè)很重要的考慮因素。
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詞條
詞條說(shuō)明
潔凈空間的溫濕度主要是根據(jù)工藝要求來(lái)確定,但在滿足工藝要求的條件下,應(yīng)考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高,出現(xiàn)了工藝對(duì)溫濕度的要求也越來(lái)越嚴(yán)的趨勢(shì)。 具體工藝對(duì)溫度的要求以后還要列舉,但作為總的原則看,由于加工精度越來(lái)越精細(xì),所以對(duì)溫度波動(dòng)范圍的要求越來(lái)越小。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中,作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來(lái)越小。直徑100 um的硅片,溫度上升
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