潔凈室氣流速度與換氣次數(shù)

時間：2013-01-16作者：程有凈化工程有限公司瀏覽：81

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• 潔凈室氣流速度與換氣次數(shù)

  潔凈室氣流速度與換氣次數(shù) 一.前言 潔凈室的氣流速度/換氣次數(shù)，一直是潔凈室設(shè)計中受到關(guān)注的問題，隨著潔凈室污染源的控制效果增加及末級過濾器效率的提高等，對有關(guān)規(guī)范、導(dǎo)則等提出的**或參考值是否偏于保守，已有不少討論；FFU在應(yīng)用中人們擔(dān)心的噪音、損壞維修等問題已在實踐中得到解決，隨著FFU的不斷改進(jìn)，對是否采用FFU回風(fēng)系統(tǒng)也是個熱點：懸浮分子污染（AMC）的控制在微電子及IC工業(yè)中已日益提到日

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