潔凈室靜電的危害

時間：2020-01-05

1、靜電庫侖力

在靜電庫侖力的作用下，吸附的粉塵、污物造成元器件增大泄漏或形成短路，使性能受損，成品率和可靠性大大下降。如粉塵粒徑>100μm，鋁線寬度約100μm，氧化膜厚度在50μm時，較易使產品報廢?，F在線徑較細，氧化膜很薄，粒徑很小的塵粒子就會損害元器件，這種情形多發(fā)生在腐蝕清洗、光刻、點焊和封裝等工藝過程中。

2、靜電放電ESD

（1）元器件的絕緣氧化膜被擊穿，引線被燒斷或線間熔斷。若人體帶上10KV（100PF）的靜電荷，觸摸器件腳時發(fā)生ESD，其向大地瞬間形成脈沖放電電流峰值可達20A（10~100s），不要說高密度，細線徑，薄SiO2膜的Lsi、Vlsi，就是一般IC、MOS都會遭受損壞。

一般說器件絕緣柵SiO2薄膜的耐壓場強是E=（5-10）×106V/cm，如果器件SiO2膜厚度取1000，其器件輸入腳施加50V-100V以上的靜電壓就將會被擊穿，而人體帶靜電**過50V、100V是較平常的。

（2）造成噪聲、**電磁波干擾

ESD引起EMI其電磁波的前后峰較尖，信號強，相當于電路中幾伏的能量，頻率跨越幾MH2甚幾百MH2的強大噪聲，可能引起元器件損壞，設備和傳感器不正常工作，甚至引起設備死機。

ESD引起的EMI還會引發(fā)錯誤信號的輸入，或發(fā)生鎖存現象。如無塵室中，將晶圓片的EMIF箱放在鋼的手推車上，晶圓片的ESD會通過電感傳給手推車，車輪是絕緣的，則EMI的擴散會引起晶圓片處理機死機。

（3）電擊人體

人體的ESD或對人體的ESD當**過人體電擊極限電流5mA以上時，人都會有各種傷害感覺，造成工作人員的情緒不安，操作錯誤。

半導體，平面顯示器，光電子等潔凈室，盡管做了很多工作，但潔凈室的靜電問題仍然影響著生產安全和產品產量，影響著制造成本和效益，影響產品的質量和可靠性。據國外工業(yè)*估計，美國每年由于靜電造成產品的損失平均在8-33%，還有人估計美國每年靜電對電子工業(yè)毀損**達100億美元；日本80年代曾對報廢的電子產品進行分析，由ESD引起的損失占1/3。我國半導體、平面液晶顯示、光電子等都起步較晚，但靜電危害也時有發(fā)生，成品率較低。而銀行、證券公司、機要數據庫、監(jiān)控中心，電力調度室等等，若出現ESD就很*引起干擾，數據遺失，情形就較嚴重了。

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詞條說明
生物潔凈技術的原則
? 對微生物污染的控制，從生物潔凈技術的角度而言，有四個原則： ? ⑴對進入潔凈室的空氣充分地進行除菌或滅菌；（如用高效濾器、電子自凈氣、臭氧發(fā)生器等）； ? ⑵使室內微生物顆粒*而有效地吸收并被排出室外；（換氣次數及較佳的進風口與回風口的設計） ? ⑶不讓室內的微生物粒子積聚和衍生（氣流組織形式及合格的凈化裝修）； ?⑷防止進入室內的人員或
**凈工作臺注意事項
**凈臺電源多采用三相四線其中有一零線，連通機器外殼，應接牢在地線上，另外三線都是相線，工作電壓是。三線接入電路中有一定的順序，如線頭接錯了，風機會反轉，這時聲音正常或稍不正常，**凈臺正面無風（可用酒精燈火焰觀察動靜，不宜久試），應及時切斷電源，只將其中任何兩相的線頭交換一下位置再接上，就可解決。三相線如只接入兩相，或三相中有一相接觸不良，則機器聲音很不正常，應立即切斷電源仔細檢修，否則會燒
汽車生產線風淋室的特點
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在新建或改建的潔凈廠房設計中，對于面積不大、層高較低、要求空氣潔凈度較高的生產環(huán)境可采用裝配式潔凈室。裝配式潔凈室所在的房間應有空氣凈化要求，并應與裝配式潔凈室的空氣潔凈度等級相適應。外圍建筑的耐火等級不得**二級。裝配式潔凈室頂棚可由裝配式潔凈室本身內壁板或支柱支承，也可固定在外圍建筑上?；仫L地溝或回風地坑宜設在外圍建筑的地面以下。裝配式潔凈室設計應滿足在該室室內安裝壁板的要求。裝配