厚膜電阻的工藝

時(shí)間：2020-07-17作者：深圳市貝皓?？萍加邢薰?/a>瀏覽：250

厚膜電阻主要是指采用厚膜工藝印刷而成的電阻。薄膜電阻穩(wěn)定性的老化過(guò)程因?qū)崿F(xiàn)不同電阻值所需的薄膜厚度而不同，因此在整個(gè)電阻范圍內(nèi)是可變的。此外，改變薄膜厚度還會(huì)嚴(yán)重影響 TCR。TCR是一個(gè)不容忽視的微小參數(shù)，它的單位是ppm/℃。1%的普通電阻的TCR系數(shù)在幾千ppm/°C范圍內(nèi)，整體阻值的變化與電阻的材料、實(shí)際功率以及物理尺寸有關(guān)系。

熱處理：
電阻薄膜的熱處理的目的是在薄膜中形成一定數(shù)量的絕緣相從而改善薄膜的溫度性能，提高薄膜的長(zhǎng)期穩(wěn)定性。電阻薄膜的制造往往是高溫短時(shí)過(guò)程，因此大量的非平衡缺陷和一些介穩(wěn)態(tài)結(jié)構(gòu)被保留下來(lái)，致使薄膜在長(zhǎng)期工作過(guò)程中，由于這些缺陷的逐漸消失和介穩(wěn)態(tài)的逐漸轉(zhuǎn)變，薄膜的性能逐漸發(fā)生變化。通過(guò)熱處理，可以使沉積過(guò)程中產(chǎn)生的一些位錯(cuò)自行移動(dòng)到表面消失，晶界缺陷數(shù)量下降，這樣，薄膜的結(jié)構(gòu)得到很大的改善，薄膜由亞穩(wěn)態(tài)轉(zhuǎn)變?yōu)榉€(wěn)定狀態(tài)，薄膜性能趨向穩(wěn)定。另外，由于薄膜和基片常常是兩種截然不同的材料，因此在其界面處不可避免地要發(fā)生相互擴(kuò)散和化學(xué)反應(yīng)，從而引起電阻薄膜性能的逐漸變化。類(lèi)似地，在薄膜表面，也由于擴(kuò)散和反應(yīng)，使薄膜性能隨著時(shí)間發(fā)生變化。
從上述看出，未經(jīng)熱處理的電阻薄膜，其性能是不夠穩(wěn)定的，所以必須選擇合適的熱處理工藝條件，如溫度、時(shí)間和氣氛。一般來(lái)說(shuō)，要選用高溫，因?yàn)橹挥性诟邷叵拢拍茉谟邢薜臒崽幚頃r(shí)間內(nèi)，完成薄膜中的多個(gè)過(guò)程。同時(shí)要在薄膜表面形成密實(shí)的保護(hù)層，除了選用合適的熱處理溫度和時(shí)間以外，還要選用必要的熱處氛。例如，用氧化性或者氮化性氣氛。這樣形成的絕緣相可以達(dá)到較其細(xì)微的分散結(jié)構(gòu)，如分子線(xiàn)度的微細(xì)分散，從而使得薄膜的穩(wěn)定性和溫度性能達(dá)到。

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• 詞條

  詞條說(shuō)明

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  精密電阻合金是指電阻溫度系數(shù)**值和對(duì)銅熱電動(dòng)勢(shì)**值均小且穩(wěn)定性好的以電阻值特性為主要特性的合金。這類(lèi)合金基本都是鎳基合金。這類(lèi)合金都有特定的電阻特性。如6J20合金具有較高的電阻率，較低的電阻溫度系數(shù)，適用于制作各種測(cè)量?jī)x器、儀表等電阻元件；6J22合金具有低的電阻溫度系數(shù)和小的對(duì)銅熱電動(dòng)勢(shì)，適用于制作各種測(cè)量?jī)x器、儀表中的精密電阻元件。這類(lèi)合金基本都以細(xì)絲供應(yīng)。主要要求檢驗(yàn)每米電阻值、平均電

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