振動(dòng)標(biāo)準(zhǔn)，隔震等級(jí)，VC曲線

時(shí)間：2023-10-19作者：深圳維爾克斯光電有限公司瀏覽：614

VC標(biāo)準(zhǔn)曲線（VC振動(dòng)標(biāo)準(zhǔn)）由Eric Ungar和Colin Gordon于20世紀(jì)80年代初開(kāi)發(fā)。它們較初是作為半導(dǎo)體、醫(yī)療和生物制藥行業(yè)振動(dòng)敏感設(shè)備的通用振動(dòng)標(biāo)準(zhǔn)而開(kāi)發(fā)的，但現(xiàn)已廣泛應(yīng)用于各種技術(shù)領(lǐng)域。VC振動(dòng)標(biāo)準(zhǔn)采用了一組三分之一倍頻程頻帶速度譜的形式，以及**標(biāo)準(zhǔn)化組織（ISO）關(guān)于振動(dòng)對(duì)建筑物內(nèi)人員影響的指導(dǎo)方針。該標(biāo)準(zhǔn)適用于在垂直和兩個(gè)水平方向測(cè)量的振動(dòng)。對(duì)于某種用于安裝精密設(shè)備或儀器的地基，所測(cè)得的三分之一倍頻程速度譜曲線的所有頻率點(diǎn)必須落在振動(dòng)等級(jí)(VC)曲線對(duì)應(yīng)的標(biāo)準(zhǔn)曲線之下。

NIST-A標(biāo)準(zhǔn)是為計(jì)量學(xué)而開(kāi)發(fā)的，但在納米技術(shù)界很受歡迎。在一些低頻振動(dòng)明顯的場(chǎng)所，NIST-A標(biāo)準(zhǔn)很難達(dá)到。現(xiàn)在，VC標(biāo)準(zhǔn)曲線已被全世界廣泛接受，可作為設(shè)計(jì)設(shè)施的基礎(chǔ)，以滿足一組對(duì)振動(dòng)高度敏感的設(shè)備在一起使用時(shí)的要求。但實(shí)際上，VC-F之后的隔振等級(jí)VC曲線都不建議用作設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)，僅用于評(píng)估。密歇根大學(xué)**低振動(dòng)實(shí)驗(yàn)室（ULVL）于2014年竣工。建成后，對(duì)**低振動(dòng)實(shí)驗(yàn)室箱體進(jìn)行了振動(dòng)調(diào)查。測(cè)量結(jié)果表明，即使只有一輛車(chē)在附近的街道上行駛，振動(dòng)也**過(guò)了**低振動(dòng)實(shí)驗(yàn)室所需的NIST-A規(guī)格。對(duì)于振動(dòng)標(biāo)準(zhǔn)VC-M而言，目**般認(rèn)為：VC-M是可測(cè)得的較低值，但現(xiàn)今還無(wú)法在此標(biāo)準(zhǔn)下進(jìn)行準(zhǔn)確的振動(dòng)測(cè)量，因?yàn)楝F(xiàn)今較敏感的傳感器也因?yàn)閭鞲衅鞯膬?nèi)部噪聲而降低了靈敏度，無(wú)法達(dá)到VC-M振動(dòng)等級(jí)的測(cè)量基準(zhǔn)。

主動(dòng)隔震臺(tái)一般能將隔震等級(jí)提升一級(jí)，例如使用KNS的主動(dòng)隔震臺(tái)后，VC-B提升到VC-C?，F(xiàn)如今，大部分的隔振臺(tái)的隔震等級(jí)都是VC-A、VC-B、VC-C，少數(shù)的主動(dòng)隔振臺(tái)能到達(dá)VC-D的隔震效果。

K&S ArisMD振動(dòng)標(biāo)準(zhǔn)可達(dá)VC-D，適用于電子顯微鏡（TEM和SEM），重量輕、結(jié)構(gòu)緊湊的桌面主動(dòng)隔振系統(tǒng)，可抵消敏感設(shè)備的有害振動(dòng)，降幅可達(dá)80%-90%。流線型設(shè)計(jì)使其能夠無(wú)縫地成為工作站環(huán)境的一部分，并且其簡(jiǎn)單的組成不需要后續(xù)的調(diào)整。主動(dòng)隔離范圍0.5-100Hz，1Hz時(shí)增益~8db，2Hz時(shí)增益~20db。





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