等離子清洗機用于半導體晶圓清洗工藝

時間：2022-04-01

等離子清洗機在半導體晶圓清洗工藝中的應用：等離子體清洗機具有工藝簡單、操作方便、沒有廢料處理和環(huán)境污染等問題。等離子清洗機常用于光刻膠的去除工藝中,在等離子體反應系統(tǒng)中通入少量的氧氣,在強電場作用下,使氧氣產生等離子體,迅速使光刻膠氧化成為可揮發(fā)性氣體狀態(tài)物質被抽走。等離子清洗機在去膠工藝中具有操作方便、表面干凈、無劃傷、有利于確保產品的質量等優(yōu)點,而且等離子清洗機不用酸、堿及**溶劑等

等離子清洗機Plasma Cleaner又被稱為等離子蝕刻機、等離子去膠機、等離子活化機、Plasma清洗機、等離子表面處理機、等離子清洗系統(tǒng)等。等離子處理機廣泛應用于等離子清洗、等離子刻蝕、等離子晶圓去膠、等離子涂覆、等離子灰化、等離子活化和等離子表面處理等場合，通過等離子清洗機的表面處理，能夠改善材料表面的潤濕能力，使多種材料能夠進行涂覆、涂鍍等操作，增強粘合力、鍵合力，同時去除**污染物、油污或油脂.

在半導體產業(yè)鏈中，等離子清洗設備是一個重要環(huán)節(jié)，它適用于對原料和半成品每一步可能存在的雜質進行清洗，以避免雜質影響產品的質量和下游產品的性能，等離子清洗設備對于單晶硅的生產、光刻、刻蝕、沉積等關鍵工藝以及封裝工藝中的使用都是**的。

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詞條
詞條說明
FPC等離子清洗機去污處理，增加表面張力
等離子清洗機廣泛用于LED,LCD，LCM，手機天線，外殼，配件，筆記本電腦按鍵及外殼，光學元器件，光學鏡片，晶片，電子芯片，集成電路，五金，精密零件，塑膠制品，生物材料，醫(yī)療器皿，晶圓，太陽能光伏硅片等的表面處理。經過等離子清洗機處理的物件表面活化效果好，物件的水浸潤效果也是非常好的。從而達到表面處理，清洗和刻蝕的效果。如微晶玻璃，光學鏡片鍍臘粘接前采用等離子清洗機來處理，能有效提升產品品質。
等離子清洗機增加材料的粘結性
等離子清洗機增加材料之間的粘結性許多聚合物薄膜和纖維等高分子材料由于具有較低的表面能，很難被溶劑潤濕，表現(xiàn)出較低的粘接性。而高分子材料經plasma等離子清洗機處理后，易在其表面引入級性基團或活性點，提高表面活性和表面能，使非級性表面轉變?yōu)榧壭员砻?，增強了粘結材料與粘結劑之間的范德華力作用，進而達到改善材料粘結性的目的。等離子清洗機Plasma Cleaner又被稱為等離子蝕刻機、等離子去膠機、等
等離子清洗機去除微觀污染物
等離子清洗機應用于材料科學、高分子科學、生物醫(yī)藥材料學、微流體研究、微電子機械系統(tǒng)研究、光學、顯微術、牙科醫(yī)療等領域中的污染物清除、表面活化、粘合前處理、表面化學改性、聚合物移植或表面涂覆等方面。等離子清洗機能處理塑料、生化材料、PDMS、玻璃或金屬半導體、陶瓷、復合材料、高分子聚合物等材料，并對所處理的材料表面帶來表面潔凈、殺菌、提高濕潤性轉變、表面性質改變、提高結合力等處理效果。等離子清洗機有
等離子清洗機在手機行業(yè)中的應用
? ?等離子清洗機(plasma cleaner)也叫等離子表面處理設備，等離子刻蝕機，是一種全新的高科技技術，利用等離子體來達到常規(guī)清洗方法無法達到的效果. 等離子體是物質的一種狀態(tài)，也叫做物質的*四態(tài)，并不屬于常見的固液氣三態(tài)。對氣體施加足夠的能量使之離化便成為等離子狀態(tài)。等離子體的“活性”組分包括：離子、電子、原子、活性基團、激發(fā)態(tài)的核素（亞穩(wěn)態(tài)）、光子等。等離子清洗機