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旋片真空泵主要由泵體、轉(zhuǎn)子、旋片、端蓋、彈簧等組成。在旋片真空泵的腔內(nèi)偏心地安裝一個(gè)轉(zhuǎn)子,轉(zhuǎn)子外圓與泵腔內(nèi)表面相切(二者有很小的間隙),轉(zhuǎn)子槽內(nèi)裝有帶彈簧的二個(gè)旋片。?旋片真空泵的工作原理圖是怎樣的??旋片真空泵的工作原理:?旋片真空泵主要由泵體、轉(zhuǎn)子、旋片、端蓋、彈簧等組成。在旋片真空泵的腔內(nèi)偏心地安裝一個(gè)轉(zhuǎn)子,轉(zhuǎn)子外圓與泵腔內(nèi)表面相切(二者有很小的間隙),轉(zhuǎn)子槽內(nèi)
【大流量真空泵廠家】普旭真空泵逆止閥的性能及特點(diǎn)
普旭真空泵逆止閥的性能及特點(diǎn):1、采用特殊橡膠塑料制成,具有耐高溫、抗擊打的特點(diǎn),在真空泵油的高溫的環(huán)境中不易變形;2、O型圈采用氟膠圈,在具有很好的密封作用下,還具有耐高溫、不粘結(jié)、壽命長(zhǎng)的特點(diǎn);3、彈簧材質(zhì)經(jīng)測(cè)試后,平均起彈次數(shù)達(dá)50億次以上;4、嚴(yán)格按照原廠尺寸生產(chǎn)而成,可順利安裝入真空泵進(jìn)氣口,且完全符合進(jìn)氣口的尺寸。此點(diǎn)用戶可放心使用!5、起彈效果佳,在產(chǎn)品使用壽命內(nèi),均能正?;謴?fù)常態(tài)。
羅茨泵工作原理分子泵 分子泵在國(guó)外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場(chǎng)合是用來代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對(duì)水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時(shí)間比低溫泵長(zhǎng)。為了提高抽速,國(guó)外在分子泵的入口側(cè)裝一個(gè)-130℃~-150℃的低溫冷板,稱之為低溫分子泵,水蒸氣被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應(yīng)
?普旭真空泵排除方法:?????(1)如泵的轉(zhuǎn)速不夠,且抽氣量是與泵的轉(zhuǎn)速成正比,則泵的抽氣量就會(huì)下降。這有兩種情況;一種情況是泵的轉(zhuǎn)速未配備好,也就是皮帶輪的直徑不合適,可換皮帶輪,改變皮帶輪的直徑;另一種情況可能是皮帶安裝不當(dāng)、未張緊,皮帶打滑而降低了轉(zhuǎn)速,這可調(diào)節(jié)電機(jī)位置,使皮帶張到一定緊度。???&n
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