詞條
詞條說(shuō)明
真空泵的操作1、開(kāi)機(jī)前的檢查檢查油位是否在MAX-MIN之間,潤(rùn)滑油不可太多,亦或太少,不足時(shí)應(yīng)補(bǔ)充。禁止混用不同牌號(hào)的潤(rùn)滑油,補(bǔ)充潤(rùn)滑油時(shí),應(yīng)確定系統(tǒng)內(nèi)已經(jīng)沒(méi)有壓力時(shí),方可打開(kāi)加油塞。接上電源線及接地線,測(cè)試電壓是否準(zhǔn)確,電源是否無(wú)誤。?2、試車(chē)、開(kāi)機(jī)與停機(jī)試車(chē)1.關(guān)閉進(jìn)氣口。2.點(diǎn)動(dòng)電機(jī)檢查真空泵的旋轉(zhuǎn)方向,如旋轉(zhuǎn)方向不對(duì),則對(duì)調(diào)三相電源中的任意兩相。開(kāi)機(jī)1.打開(kāi)進(jìn)氣口。2.合上電源
旋片式真空泵真空度下降原因指當(dāng)下測(cè)得的旋片式真空泵真空度比出廠指標(biāo)或者以前使用時(shí)的真空度低。引起真空度低的原因有很多,這里介紹幾種主要的情況。1、這次加的旋片式真空泵油的牌號(hào)和原先的不一樣。不同的真空泵油牌號(hào),由于不同牌號(hào)油內(nèi)的飽和蒸汽壓不一樣,所以其的結(jié)果是不一樣的。解決之道:根據(jù)產(chǎn)品的型號(hào)規(guī)格換正確的新真空泵油。2、另外也是由于真空泵油造成的真空度低的情況,就是真空泵油乳化變色,或者過(guò)臟。解決
普旭真空泵使用說(shuō)明:?????新泵安裝就位后先查看油位,齒輪側(cè)油位以油面浸沒(méi)3-5齒為宜,電機(jī)側(cè)以油窗中心略高為宜,軸伸上油杯不應(yīng)缺油,各部位潤(rùn)滑油均采用1號(hào)真空泵油。?????1、真空泵啟動(dòng)程序:?????(1)啟動(dòng)前級(jí)泵。??
羅茨泵工作原理分子泵 分子泵在國(guó)外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場(chǎng)合是用來(lái)代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對(duì)水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時(shí)間比低溫泵長(zhǎng)。為了提高抽速,國(guó)外在分子泵的入口側(cè)裝一個(gè)-130℃~-150℃的低溫冷板,稱之為低溫分子泵,水蒸氣被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應(yīng)
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