旋片式真空泵常見(jiàn)故障如下:
1.泵不轉(zhuǎn)。情況不明不能先開(kāi)泵,以免加重故障。用手能盤(pán)動(dòng)和不能盤(pán)動(dòng)。
2.泵溫太高。指低級(jí)排氣閥附近測(cè)得的高油溫過(guò)使用說(shuō)明書(shū)值。由于泵溫升高會(huì)使泵油粘度大幅下降,并使泵油的飽和蒸汽壓升高,使泵的壓力升高和抽氣效率下降;使橡膠件容易老化;熱膨脹使運(yùn)轉(zhuǎn)間隙縮小,特別是某些非金屬旋片的厚度方向和銅套內(nèi)孔間隙,影響泵運(yùn)轉(zhuǎn)的可靠性。泵溫太高的原因可以是泵溫度太高,進(jìn)氣溫度太高,進(jìn)氣冷卻裝置失效,泵長(zhǎng)期連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)入口壓力太高;水冷泵冷卻水量不足,循環(huán)水設(shè)計(jì)效果不佳;溫控水量調(diào)節(jié)閥失效等。
3.漏油。可以發(fā)生在軸封,油箱與泵零部件的密封面,放油塞、油標(biāo)、油孔悶頭、定子部件與支座的通孔連接處,氣鎮(zhèn)閥等部位??捎擅芊饧匣?,安裝不當(dāng),損壞失效,表面不平整、有雜質(zhì)、粗糙和鑄件疏松等引起。如果停泵后返油,油會(huì)進(jìn)入氣鎮(zhèn)閥,不關(guān)氣鎮(zhèn)閥可能會(huì)漏油。自制橡膠墊時(shí),一定要用耐油橡膠,要按照原設(shè)計(jì)形狀,密封面太大時(shí)壓不緊會(huì)漏油。
詞條
詞條說(shuō)明
真空泵氣鎮(zhèn)閥的作用:是在排氣發(fā)生之前向泵的排氣腔充入一定量空氣,以降低排氣壓力中的蒸汽分壓力,當(dāng)它**泵溫下的飽和蒸汽壓時(shí),即可隨充入氣體排出泵外,而避免凝結(jié)在泵油中。另外,當(dāng)密閉泵口運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí),已混入油內(nèi)的可凝性氣體的凝結(jié)物或氣相就會(huì)溶于油中的物質(zhì),又會(huì)在泵腔內(nèi)從油中逸出,這時(shí)如果開(kāi)氣鎮(zhèn)工作,也可抽除一定量的可凝性物質(zhì),從而起到一定凈化作用,延長(zhǎng)泵油的使用期。在結(jié)構(gòu)上,氣鎮(zhèn)閥有一逆止閥,防止排氣時(shí)油
羅茨泵工作原理分子泵 分子泵在國(guó)外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場(chǎng)合是用來(lái)代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對(duì)水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時(shí)間比低溫泵長(zhǎng)。為了提高抽速,國(guó)外在分子泵的入口側(cè)裝一個(gè)-130℃~-150℃的低溫冷板,稱(chēng)之為低溫分子泵,水蒸氣被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應(yīng)
真空泵維護(hù)與保養(yǎng):1.泵及其四周環(huán)境應(yīng)經(jīng)常保持清潔,防止雜物進(jìn)入泵內(nèi)。?2.泵的運(yùn)轉(zhuǎn)過(guò)程中,油箱內(nèi)的存油量不得油標(biāo)中心。?3.不同種類(lèi)和牌號(hào)的真空泵油,不可混合使用。?4.泵在使用中,因系統(tǒng)損壞等特殊事故,進(jìn)氣口突然暴露大氣時(shí),應(yīng)盡快停泵,并切斷與系統(tǒng)連接的管道,防止噴油、污染場(chǎng)地。?5.泵由于存放或使用不當(dāng),水份或其它揮發(fā)性物質(zhì)進(jìn)入泵內(nèi)而影響真空時(shí),可開(kāi)氣
現(xiàn)今真空泵被廣泛應(yīng)用于工礦業(yè),想要使用的久,是每一位客戶(hù)的心愿,如何延長(zhǎng)真空泵壽命呢?這一直是大家關(guān)注的問(wèn)題,下面小編就為大家?guī)?lái)幾點(diǎn)方法。1涂抹材料:先薄薄涂抹一層材料,要確保粘接及完全覆蓋,再將材料均勻的涂抹到修復(fù)表面,達(dá)到要求的修復(fù)厚度即可。2表面處理:徹底清除表面氧化層,用丙酮將表面清洗干凈。3調(diào)和材料:嚴(yán)格按照比例進(jìn)行調(diào)和,并攪拌均勻,直到?jīng)]有色差。4固化:24小時(shí)/24℃(材料溫度)。
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