【真空泵維修】真空泵如何選型?

    便宜的用旋片式真空泵串接擴(kuò)散泵即可.
    泵的抽速選擇,由真空室大小以及真空確定.

    一般是兩臺(tái)旋片式真空泵+一臺(tái)擴(kuò)散泵組成.

    一臺(tái)旋片式真空泵直抽真空室,另一臺(tái)抽擴(kuò)散泵.
    當(dāng)真空室到5Pa以下,并且擴(kuò)散泵預(yù)熱后,
    切換到擴(kuò)散泵抽真空室.因?yàn)閿U(kuò)散泵有冷阱,所以泵油不會(huì)污染真空室.
    假如有錢(qián),就用分子泵代替擴(kuò)散泵.不用預(yù)熱.
    并且徹底無(wú)油.
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