真空泵的幾個術(shù)語
抽氣速率:在泵的入口處,壓強(qiáng)為P, 單位時間內(nèi)抽出的氣體量為Q, 抽速Sp =Q/P, 單位:L/s
有效抽氣速率:真空泵與真空室之間通常有管道,管道存在壓差,減小了泵的抽速。
管道流導(dǎo)為U,
有效抽速 S=SpU/(Sp+U)
起始壓強(qiáng):真空泵開始工作的允許壓強(qiáng),泵的工作原理決定。
有些需要真空下開始工作,因此前級泵是必須的。
極限真空度:沒有漏氣和內(nèi)壁脫氣條件下,真空泵所能達(dá)到的較低氣壓,工作介質(zhì)決定了極限真空。
獲得真空的方法:使用真空泵或者吸氣劑,真空泵是獲得真空的較重要工具。真空泵性能指標(biāo)決定真空度高低。
如果平均自由程 > 真空室尺寸 ? 分子流 分子的運(yùn)動互相之間是獨(dú)立的,分子與墻壁表面的碰撞速率決定真空泵的抽氣速度??斩?/p>
如果平均自由程 <真空室尺寸 ? 粘滯流分子運(yùn)動互相影響分子與分子的碰撞決定抽氣氣流動力學(xué), 真空度
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詞條說明
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