【單級(jí)旋片式真空泵】Dry Pump(干式真空泵）的原理和優(yōu)點(diǎn)

時(shí)間：2021-04-01作者：上海福豫機(jī)械設(shè)備有限公司瀏覽：3502

Dry Pump(干式真空泵）的原理和優(yōu)點(diǎn)




Dry Pump是較基本的真空pump，它是利用螺桿原理來(lái)工作的，它主要的特點(diǎn)是可以從大氣壓下直接開始抽氣,所以可以單獨(dú)使用。

一般真空度要求不高（E-3torr以下），如CVD及furnace僅使用dry pump即可。

氣體從中間進(jìn)入的優(yōu)點(diǎn)：

1.縮短了氣體通過(guò)pump的路徑，減少了particle的沉積

2.減少了進(jìn)口與出口壓差對(duì)軸的影響，減小徑向扭矩

Dry pump用在chamber由大氣壓下直接抽真空，可以維持進(jìn)出口壓差105倍。

Dry pump有電源（電源使馬達(dá)帶動(dòng)螺桿式轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)動(dòng))。

N2 purge(稀釋防止particle沉積在間隙內(nèi)），而 且N2形成氣簾防止rotor潤(rùn)滑油進(jìn)入，產(chǎn)生污染。

N2可以調(diào)整Ballast來(lái)選擇性調(diào)整N2流量。

Cooling water(防止溫度過(guò)高使pump無(wú)法運(yùn)轉(zhuǎn))。

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