單晶硅除塵器

時(shí)間：2025-01-10作者：新鄉(xiāng)市利菲爾特濾器股份有限公司瀏覽：112

袋式除塵器在單晶硅生產(chǎn)中的應(yīng)用
工作原理與除塵過(guò)程：
含塵氣體從袋式除塵器的進(jìn)氣口進(jìn)入，在風(fēng)機(jī)的作用下，氣流通過(guò)濾袋。單晶硅生產(chǎn)過(guò)程中產(chǎn)生的硅塵，其顆粒在通過(guò)濾袋時(shí)，被濾袋的纖維攔截。濾袋的材質(zhì)通常有聚酯纖維、聚丙烯腈等，這些纖維形成的細(xì)密結(jié)構(gòu)可以有效阻擋硅塵。隨著粉塵在濾袋表面的積累，會(huì)在濾袋表面形成一層粉塵層，這層粉塵層實(shí)際上也能起到過(guò)濾作用，進(jìn)一步提高除塵效率。潔凈的氣體則透過(guò)濾袋，從除塵器的出風(fēng)口排出。
優(yōu)勢(shì)：
高效除塵：對(duì)于單晶硅生產(chǎn)中產(chǎn)生的微小硅塵顆粒，袋式除塵器的除塵效率可以達(dá)到 99% 以上。例如，在單晶硅切片過(guò)程中，會(huì)產(chǎn)生大量的細(xì)硅粉，袋式除塵器能夠很好地將這些細(xì)粉收集起來(lái)，防止其擴(kuò)散到空氣中。
適應(yīng)性強(qiáng)：它可以適應(yīng)不同濃度和粒徑分布的硅塵。無(wú)論是在單晶硅拉晶階段產(chǎn)生的較大顆粒硅渣，還是在后續(xù)加工如研磨、拋光過(guò)程中產(chǎn)生的細(xì)微硅粉，袋式除塵器都能有效處理。
局限性：
維護(hù)成本：濾袋需要定期更換。在單晶硅生產(chǎn)環(huán)境中，硅塵可能會(huì)與其他雜質(zhì)混合，加速濾袋的堵塞和損壞。例如，在高溫的單晶硅生產(chǎn)車(chē)間，濾袋的使用壽命可能會(huì)受到溫度和化學(xué)物質(zhì)的影響，更換濾袋會(huì)增加設(shè)備的維護(hù)成本。
運(yùn)行阻力：隨著濾袋上粉塵的積累，除塵器的運(yùn)行阻力會(huì)逐漸增加。這會(huì)導(dǎo)致風(fēng)機(jī)能耗上升，并且如果阻力過(guò)大，可能會(huì)影響除塵效果。在單晶硅生產(chǎn)中，需要根據(jù)實(shí)際情況定期對(duì)濾袋進(jìn)行清灰操作來(lái)降低阻力。
旋風(fēng)除塵器用于單晶硅除塵的情況
工作原理闡述：
單晶硅生產(chǎn)中的含塵氣體以較高的速度沿切線(xiàn)方向進(jìn)入旋風(fēng)除塵器的筒體。進(jìn)入后，氣體在筒體內(nèi)形成高速旋轉(zhuǎn)的氣流。由于硅塵顆粒的質(zhì)量較大，在離心力的作用下，硅塵被甩向筒壁。然后在重力的作用下，硅塵沿筒壁落入灰斗。而凈化后的氣體則在旋風(fēng)除塵器的中心部分，形成向上的螺旋流，從**部的出風(fēng)口排出。
優(yōu)勢(shì)：
結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單：旋風(fēng)除塵器的結(jié)構(gòu)相對(duì)簡(jiǎn)單，主要由筒體、圓錐體、進(jìn)氣口、出氣口和灰斗等部分組成。這使得它的造價(jià)較低，在單晶硅生產(chǎn)中，對(duì)于一些對(duì)除塵精度要求不是特別高的環(huán)節(jié)，如單晶硅原料初步處理階段，可以作為一種經(jīng)濟(jì)實(shí)惠的除塵設(shè)備。
維護(hù)方便：沒(méi)有復(fù)雜的內(nèi)部部件，不容易出現(xiàn)故障。在單晶硅生產(chǎn)過(guò)程中，其穩(wěn)定的性能可以減少設(shè)備維護(hù)對(duì)生產(chǎn)的干擾。例如，在單晶硅的破碎和篩分過(guò)程中，旋風(fēng)除塵器可以有效去除較大顆粒的硅塵，并且可以長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定運(yùn)行。
局限性：
除塵效率有限：對(duì)于微小的硅塵顆粒，旋風(fēng)除塵器的除塵效率相對(duì)較低。在單晶硅的精細(xì)加工環(huán)節(jié)，如刻蝕、鍍膜等過(guò)程中產(chǎn)生的細(xì)小硅塵，旋風(fēng)除塵器很難達(dá)到理想的除塵效果，一般其對(duì)粒徑小于 5 - 10 微米的硅塵捕集效率會(huì)顯著下降。
對(duì)操作條件敏感：它的除塵效果與入口風(fēng)速、粉塵濃度等因素密切相關(guān)。如果單晶硅生產(chǎn)過(guò)程中的工藝參數(shù)發(fā)生變化，導(dǎo)致含塵氣體的流速或粉塵濃度改變，旋風(fēng)除塵器的除塵效率也會(huì)受到較大影響。
電除塵器在單晶硅生產(chǎn)中的角色
除塵機(jī)制：
電除塵器內(nèi)部設(shè)有高壓電場(chǎng)。在單晶硅生產(chǎn)過(guò)程中，含塵氣體進(jìn)入電場(chǎng)后，硅塵顆粒在電場(chǎng)的作用下被充電。帶電的硅塵顆粒在電場(chǎng)力的作用下，向集塵較移動(dòng)，并沉積在集塵較上。然后通過(guò)振打裝置，將沉積的硅塵落入灰斗收集起來(lái)。凈化后的氣體則通過(guò)除塵器的出口排出。
優(yōu)勢(shì)：
高效捕集微小顆粒：電除塵器能夠有效捕集單晶硅生產(chǎn)中產(chǎn)生的微小硅塵顆粒，除塵效率可以達(dá)到 99% 以上。在單晶硅的氣相沉積等精細(xì)工藝過(guò)程中，能夠很好地控制硅塵的排放，滿(mǎn)足嚴(yán)格的環(huán)保要求。
處理風(fēng)量大：適用于單晶硅大規(guī)模生產(chǎn)過(guò)程中的除塵。例如，在大型單晶硅制造工廠(chǎng)的生產(chǎn)車(chē)間，電除塵器可以處理大量含有硅塵的空氣，保證車(chē)間內(nèi)的空氣質(zhì)量。
局限性：
投資和運(yùn)行成本高：電除塵器的設(shè)備投資較大，需要配備高壓電源等復(fù)雜的設(shè)備。而且在運(yùn)行過(guò)程中，對(duì)維護(hù)人員的技術(shù)要求較高，需要定期對(duì)電極進(jìn)行清潔和維護(hù)，以確保電場(chǎng)的正常運(yùn)行。在單晶硅生產(chǎn)中，這會(huì)增加企業(yè)的生產(chǎn)成本和技術(shù)管理難度。
對(duì)粉塵性質(zhì)敏感：電除塵器的除塵效果受硅塵的比電阻影響較大。如果硅塵的比電阻過(guò)高或過(guò)低，都會(huì)影響其在電場(chǎng)中的充電和沉積過(guò)程，從而降低除塵效率。在單晶硅生產(chǎn)中，不同的生產(chǎn)工藝可能會(huì)導(dǎo)致硅塵的比電阻發(fā)生變化，需要對(duì)電除塵器進(jìn)行相應(yīng)的調(diào)整。

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• 詞條

  詞條說(shuō)明

• 輸送機(jī)除塵器

  定義與作用輸送機(jī)除塵器是一種應(yīng)用于輸送設(shè)備（如皮帶輸送機(jī)、鏈?zhǔn)捷斔蜋C(jī)等）的除塵設(shè)備，主要用于收集和處理在物料輸送過(guò)程中產(chǎn)生的粉塵。其目的是減少粉塵排放，改善工作環(huán)境，防止粉塵對(duì)輸送設(shè)備造成損壞，同時(shí)也避免粉塵對(duì)操作人員健康的危害。工作原理干式除塵原理過(guò)濾式：典型的如布袋除塵器。含塵氣體在風(fēng)機(jī)的作用下進(jìn)入除塵器，氣體通過(guò)布袋時(shí)，粉塵被布袋阻擋并吸附在布袋的外表面，而清潔的氣體則通過(guò)布袋進(jìn)入凈氣室，較

• 破碎機(jī)除塵器

  破碎機(jī)在工作過(guò)程中會(huì)產(chǎn)生大量的粉塵，破碎機(jī)除塵器就是用于收集和處理這些粉塵的設(shè)備。它可以有效改善工作環(huán)境，減少粉塵對(duì)人體健康的危害和對(duì)大氣環(huán)境的污染，同時(shí)也能保護(hù)破碎機(jī)等設(shè)備，延長(zhǎng)其使用壽命。工作原理脈沖布袋式破碎機(jī)除塵器含塵氣體由進(jìn)風(fēng)口進(jìn)入除塵器的中箱體下部，在擋風(fēng)板的作用下，氣流向**動(dòng)，部分大顆粒粉塵由于慣性作用直接落入灰斗。含塵氣體繼續(xù)向上進(jìn)入裝有濾袋的過(guò)濾室，粉塵被阻擋在濾袋外表面，過(guò)濾

• 硅粉除塵器

  硅粉除塵器是用于去除硅粉生產(chǎn)過(guò)程中產(chǎn)生粉塵的設(shè)備，以下是幾種常見(jiàn)的硅粉除塵器：袋式除塵器工作原理：含塵氣體進(jìn)入除塵器后，通過(guò)濾袋的過(guò)濾作用，粉塵被阻擋在濾袋外表面，潔凈氣體透過(guò)濾袋從出風(fēng)口排出 。優(yōu)點(diǎn)：除塵效率高，可達(dá)到 99% 以上，能有效捕集細(xì)小的硅粉顆粒；對(duì)粉塵的適應(yīng)性強(qiáng)，不受粉塵比電阻等性質(zhì)影響；運(yùn)行穩(wěn)定，維護(hù)得當(dāng)可長(zhǎng)期穩(wěn)定運(yùn)行 。缺點(diǎn)：濾袋需要定期更換，增加了運(yùn)行成本和維護(hù)工作量；設(shè)備阻

• 單晶硅除塵器

  袋式除塵器在單晶硅生產(chǎn)中的應(yīng)用工作原理與除塵過(guò)程：含塵氣體從袋式除塵器的進(jìn)氣口進(jìn)入，在風(fēng)機(jī)的作用下，氣流通過(guò)濾袋。單晶硅生產(chǎn)過(guò)程中產(chǎn)生的硅塵，其顆粒在通過(guò)濾袋時(shí)，被濾袋的纖維攔截。濾袋的材質(zhì)通常有聚酯纖維、聚丙烯腈等，這些纖維形成的細(xì)密結(jié)構(gòu)可以有效阻擋硅塵。隨著粉塵在濾袋表面的積累，會(huì)在濾袋表面形成一層粉塵層，這層粉塵層實(shí)際上也能起到過(guò)濾作用，進(jìn)一步提高除塵效率。潔凈的氣體則透過(guò)濾袋，從除塵器的出