SEMILAB-激光橢偏儀-LE-103PV

時(shí)間：2023-05-30作者：上海連航機(jī)電科技有限公司瀏覽：37

SEMILAB-激光橢偏儀-LE-103PV

產(chǎn)品型號：LE-103PV

產(chǎn)品介紹：用于硅太陽能電池的激光橢偏儀 緊湊型創(chuàng)新設(shè)備，旨在測量沉積在紋理硅（單硅和多硅）襯底上的抗反射涂層的厚度和光學(xué)常數(shù)。可以輕松實(shí)現(xiàn)優(yōu)化的入射角（12-90°），以獲得沉積在多晶結(jié)構(gòu)晶圓上的薄膜的大信號。金字塔結(jié)構(gòu)可以定向以獲得正確的測量值，同時(shí)將樣品牢固地保持在適當(dāng)?shù)奈恢谩?/span>

性能特點(diǎn)：

確定減反射涂層的薄膜厚度和光學(xué)常數(shù)（折射率和消光系數(shù)）

用于穩(wěn)定性和自動校準(zhǔn)的集成光學(xué)元件

微點(diǎn)聚焦光學(xué)元件，用于良好信號收集。

特別改裝的樣品架，適用于 156×156 mm 的樣品池尺寸。

在線集成，實(shí)現(xiàn)快程控制。

符合智能軟件標(biāo)準(zhǔn)。

樣品對準(zhǔn)：用于手動傾斜和高度調(diào)整的大信號檢測。

參數(shù)：

測量波長：632.8 nm（氦-Ne激光）

樣品臺：兼容 156 × 156 mm

測角儀：55° - 90° 手動控制

 


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