kleindiek探針臺MM3A-EM

時間：2023-05-16作者：上海連航機(jī)電科技有限公司瀏覽：13

產(chǎn)品名稱：kleindiek探針臺MM3A-EM

產(chǎn)品型號：MM3A-EM

產(chǎn)品介紹：

MM3A-EM探針站包括多達(dá)八個MM3A-EM微操作器，與我們的X和Y方向行程為30mm的遠(yuǎn)程子階段相結(jié)合。子階段可以選擇性地配備位置編碼器，可產(chǎn)生50nm的重復(fù)性。另一個選項是添加一個范圍為3 mm的Z軸。

整個平臺可以在短短幾分鐘內(nèi)安裝在SEM的載物臺上，也可以很容易地將其移除，以使顯微鏡恢復(fù)到以前的狀態(tài)。

MM3A-EM微操作器配備了低電流、低容量的測量能力，并與探測工具硬件和軟件套件完全兼容，包括帶電接觸測試儀和電子束感應(yīng)電流成像模塊等。

該平臺還可以安裝溫度高達(dá)450°C的加熱臺。其他定制可根據(jù)要求提供（e，g，集成LED照明）。

性能特點(diǎn)：

● 緊湊靈活

-易于安裝和拆卸，具有高度靈活性

-帶模塊化組件的即插即用系統(tǒng)

-大多數(shù)SEM/FIB儀器的接口解決方案

-快速設(shè)置

-大樣本的充足空間

-大工作范圍（30 mm x 30 mm子階段行程）

-開創(chuàng)性的布線技術(shù)

● 清晰簡單

-直觀的控制界面和軟件

-用戶友好且易于學(xué)習(xí)

-快速簡便的探針頭更換

-緊湊、獨(dú)立的電子設(shè)備

-使用多個操縱器輕松工作

● 堅固穩(wěn)定

-好的穩(wěn)定性

-低漂移（1納米/分鐘）

-可靠運(yùn)行（一年耐久性試驗(yàn)）

-幾乎不受振動影響

-手動快速預(yù)定位

● 快速準(zhǔn)確

-高操作速度（高達(dá)10毫米/秒）

-亞納米分辨率（0.25納米）

-無齒隙或反向間隙

-廣泛的工作范圍

-一個驅(qū)動器中的粗排量和細(xì)排量

參數(shù)：

● 總高度：31毫米

● 總寬度：180毫米

● max樣本尺寸：70 mm-70 mm，max高度10 mm

● 重量：~1200克

三軸微型操作器

A=左/右B=上/下C=進(jìn)/出

● 低漂移：1納米/分鐘

低容量、低電流測量

● 噪音：25 fA@1 Hz

● 絕緣泄漏電流：<50 fA/V

● 信號導(dǎo)體電阻：<5?

● max電壓：100 V

● max電流：100 mA

變電站

● 行程X和Y：28.5毫米

● 速度：highest 2 mm/s

● 分辨率：＜0.5 nm

● 重復(fù)性：50 nm（可選）

● 角度偏差：<1μrad

● 負(fù)載：500 g

● 可選Z驅(qū)動范圍：3毫米

● Z提升能力：25 g

產(chǎn)地：德國

應(yīng)用：

● 納米拋光

● 故障分析

● 低電流晶體管測試


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